Bajo - máquina de capa de la farfulla del magnetrón de la película de E, web de R2R que metaliza el sistema

Número de modelo:RT-R2R-SP
Lugar del origen:Hecho en China
Cantidad de orden mínima:1 set
Condiciones de pago:L/C, T/T
Capacidad de la fuente:3 sistemas por mes
Plazo de expedición:16 semanas
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Evaluación de proveedor
Dirección: ZONA INDUSTRIAL DEL CAMINO DE 819# SONGWEI (N.) SONGJIANG, SHANG HAI, CHINA 201613
Proveedor Último login veces: Dentro de 1 Horas
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Detalles del producto

 

Máquina de recubrimiento por pulverización al vacío de película de baja E / rollo de rollo de rollo

 

Nos complace proponer nuestro revestimiento de vacío de pulverización de vacío de la serie MultiWeb para cumplir con sus requisitos de deposición de múltiples capas.

 
Aplicaciones para el revestimiento de película de baja E:papel electrónico, circuitos flexibles, fotovoltaicos, tiras médicas, RFID (identificación por radiofrecuencia) y película Low-E.
 
Las películas de depósito
1Material del sustrato: PET, PEN, PES, PI, PC, PA, películas
2. espesor del sustrato: 15~300 μm
3Métodos de deposición: AC reactivo para SiO2 ((dieléctrico); DC pulsado para ITO (metal y conductor)
4El conductor del óxido TCO: ITO, AZO, IZO...
5El conductor metálico: Al, Cu, Mo, Ag...
6. Película óptica: Ta2O5, Nb2O5, SiO2, TiO2...
7Semiconductores: ZnO, InGaZnO...
8Aislador: SiO2, SiNx, AlOx, AlNx...
9Uniformidad: ± 5% en toda la trama

El recubrimiento MultiWeb ofrece las siguientes características clave:
A. Una cámara dividida en zonas de múltiples presiones para alojar varias fuentes de deposición.
B. Capacidades de deposición simultánea de múltiples fuentes en un solo paso de la red, para recubrimiento de múltiples capas.
C. La dirección de enrollamiento de la telaraña reversible permite depositar capas ilimitadas sin romper el vacío.
D. Mecanismos de manipulación de la telaraña de precisión con guía de borde para permitir múltiples pases sin pérdida de alineación (opcional).
E. Sistema de accionamiento de red invertida para el control preciso de múltiples velocidades de red.
F. Sistemas ópticos y/o de control de espesor de resistencia en línea, para controlar con precisión el espesor y la uniformidad de las deposiciones (opcional).
G. La cámara está construida de acero inoxidable SUS304L con componentes de baja emisión de gases para asegurar un vacío más profundo.
H. Bombeo al vacío mediante una combinación de bomba turbo-molecular y criogenia a baja temperatura, para proporcionar un vacío limpio sin humedad ni contaminación por aceite.
 

 

Las especificaciones generales
Cuerpo de cámara de vacío: zonas de presión múltiple de cámara única
Carruajes móviles:
Zona de deposición: 2 X zona de pulverización (opcional: 3 zonas de pulverización)
Fuente de pulverización: 2 X Fuente de pulverización de doble cátodo (opcional: 3 Fuentes de pulverización de doble cátodo)
Pre-tratador de sustrato: Fuente de iones lineal
Ancho de la red: 1300 mm
Diámetro del enrollamiento: Φ600 mm máximo
Dirección de enrollamiento: bidireccional
espesor del sustrato: 15 ~ 300 μm
Velocidad de línea web:0.5 ~ 10M/min
Tensión de la red: 5,0PLI máximo 0,5PLI min.
Alineación de la telaraña: ±3 mm (un paso)
Bomba de alta presión: bomba turbo
Bomba de vacío en bruto: combinación de bomba seca y soplador
Bomba de humedad: polifrío criogénico
Control del espesor de deposición: monitoreo (opcional)
a) Transmisión óptica; b) Resistencia de corriente Eddy.
Funcionamiento del sistema: Funcionamiento del sistema informático basado en PLC

 

Por favor, póngase en contacto con nosotros para más especificaciones, Royal Technology tiene el honor de proporcionarle soluciones de recubrimiento total.

 

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