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Especificación | Valor |
espesor del vidrio | < 1,1 mm |
Tamaños de las obleas | Todos los modelos hasta 200 mm |
Diámetro mínimo del microagujero | 10 μm |
Diámetro del agujero idéntico | El 99% |
Precisión de la posición | ± 3 μm |
Las piezas | No hay |
Paredes laterales muy suaves | RA < 0,08 μm |
Tipos de agujeros | A través de Vía (círculo verdadero o elipse), Vía ciega (círculo verdadero o elipse) |
Forma del agujero | Reloj de arena |
Opción | Sinulación de vidrio de gran tamaño procesado por agujero |