Substrato de cerámica del catalizador de las obleas DSP de 4H-N 5x5m m sic

Number modelo:pureza elevada 4h-semi sin impurificar
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HPSI de alta pureza 4H-SEMI 4H-N 10X10mm 5x5mm obleas sic DSP


Aplicación del carburo de silicio en la industria de dispositivos de potencia

Unidad de rendimiento Silicon Si Silicon Carbide SiC Gallium Nitride GaN
El espacio de banda eV 1.12 3.26 3.41
Descomposición del campo eléctrico MV/cm 0.23 2.2 3.3
Movilidad de los electrones cm^2/Vs 1400 950 1500
Velocidad de deriva 10 a la potencia de 7 cm/s 1 2.72.5
Conductividad térmica W/cmK 1.5 3.8 1.3
Las obleas de SiC (carburo de silicio) de 4H-N 5x5 mm con superficies pulidas de doble cara (DSP) son muy buscadas por sus propiedades avanzadas, particularmente en alta potencia, alta frecuencia,y aplicaciones de alta temperaturaComo sustrato de semiconductores, el 4H-N SiC destaca por su conductividad térmica superior, su alto campo eléctrico de descomposición y su amplio intervalo de banda.lo que lo convierte en un candidato ideal para la electrónica de potencia y los dispositivos de RF (radiofrecuencia)Estas características permiten una conversión de energía más eficiente en vehículos eléctricos, sistemas de energía renovable y tecnologías avanzadas de comunicación como 5G.en sustratos de catalizadores cerámicosLa alta resistencia a la corrosión y la resistencia mecánica del SiC en condiciones extremas ofrecen un entorno óptimo para las reacciones químicas, promoviendo procesos catalíticos energéticamente eficientes.Para industrias como los sistemas de escape de automóvilesLa combinación de la alta estabilidad térmica y la alta eficiencia de los procesos de fabricación de productos químicos y de la tecnología medioambiental contribuyen a reducir las emisiones y a mejorar la eficiencia general de los procesos.durabilidad, y la eficiencia energética subraya su papel fundamental tanto en los avances de los semiconductores como en las aplicaciones catalíticas.

ZMSH ofrece obleas de SiC y Epitaxy: las obleas de SiC son el material semiconductor de banda ancha de tercera generación con un excelente rendimiento.campo eléctrico de alta rupturaLa Wafer SiC también tiene grandes perspectivas de aplicación en el sector aeroespacial, el transporte ferroviario, el transporte de mercancías y el transporte de mercancías.generación de energía fotovoltaicaLa nueva tecnología de la electrónica de potencia, que incluye la tecnología de la transmisión de energía, los vehículos de nueva energía y otros campos, traerá cambios revolucionarios a la tecnología de la electrónica de potencia.cada oblea está en un recipiente de oblea, menos de 100 salón de clases limpio.


Las obleas de SiC preparadas para epi tienen tipo N o semi-aislante, su politipo es 4H o 6H en diferentes grados de calidad, Densidad de micropipos (MPD): libre, <5/cm2, <10/cm2, <30/cm2, <100/cm2,y el tamaño disponible es 2 ′′En el caso del SiC Epitaxy, su uniformidad de espesor de oblea a oblea: 2% y uniformidad de dopado de oblea a oblea: 4%, la concentración de dopado disponible proviene de E15, E16, E18, E18/cm3,Las capas n y p de epi están disponibles., los defectos de epi son inferiores a 20/cm2; todo el sustrato debe utilizarse de grado de producción para el crecimiento de epi; las capas de epi de tipo N < 20 micras están precedidas por una capa tampón de tipo n, E18 cm-3, de 0,5 μm;Las capas de epi de tipo N≥20 micras están precedidas de n-tipo, E18, capa de amortiguador de 1 a 5 μm; el dopaje de tipo N se determina como un valor medio en toda la oblea (17 puntos) utilizando la sonda CV de Hg;El espesor se determina como un valor medio a través de la oblea (9 puntos) utilizando FTIR.

2. tamaño de los sustratos estándar

4 pulgadas de diámetro de carburo de silicio (SiC) especificación del sustrato

GradoGrado de MPD ceroGrado de producciónGrado de investigaciónGrado de imitación
Diámetro76.2 mm±0,3 mm o 100±0,5 mm;
El grosor500 ± 25 mm
Orientación de la oblea0° fuera del eje (0001)
Densidad de los microtubos≤ 1 cm2≤ 5 cm2≤ 15 cm2≤ 50 cm2
Resistencia4H-N0.015 ~ 0.028 Ω•cm
6H-N0.02 ~ 0.1 Ω•cm
4/6H-SI≥1E7 Ω·cm
Primaria Plano y longitud{10-10} ± 5,0°,32.5 mm±2.0 mm
Duración plana secundaria18.0 mm±2.0 mm
Orientación plana secundariaSilicón hacia arriba: 90° CW. desde el plano Prime ±5,0°
Exclusión de los bordes3 mm
TTV/Bow/WarpSe aplicarán las siguientes medidas:
La rugosidadPolish Ra≤1 nm,CMP Ra≤0,5 nm
Las grietas causadas por la luz de alta intensidadNo hay1 permitido, ≤ 2 mmDuración acumulada ≤ 10 mm, longitud única ≤ 2 mm
Placas hexagonales por luz de alta intensidadÁrea acumulada ≤ 1%Área acumulada ≤ 1%Área acumulada ≤ 3%
Áreas de politipo por luz de alta intensidadNo hayÁrea acumulada ≤ 2%Área acumulada ≤ 5%

También se pueden suministrar wafer y lingotes de 2-6 pulgadas y otros tamaños personalizados.


3.Mostrar los detalles de los productos



Entrega y paquete


Preguntas frecuentes
  • ¿Es su empresa una fábrica o una empresa comercial?
  • Somos la fábrica y también podemos exportar nosotros mismos.
  • P2. ¿Su empresa sólo trabaja con el negocio de la SIC?
  • Sí; sin embargo no crecemos el cristal de sic por nosotros mismos.
  • ¿Podría suministrar una muestra?
  • Sí, podemos suministrar una muestra de zafiro de acuerdo a los requisitos del cliente.
  • ¿Tiene alguna reserva de obleas sic?
  • Por lo general tenemos algunas obleas de tamaño estándar de 2-6 pulgadas en stock.
  • P5. ¿Dónde se encuentra su empresa?
  • Nuestra empresa está ubicada en Shanghai, China.
  • ¿Cuánto tiempo tardará en obtener los productos?- ¿ Qué?
  • En general, el proceso tardará 3~4 semanas. Depende de la cantidad y el tamaño de los productos.

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Substrato de cerámica del catalizador de las obleas DSP de 4H-N 5x5m m sic

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