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Índice principal del parámetro:
1.: la última cámara de la vacuometalización es ≤6.6X10-5Pa; el
tiempo de bombeo: 30 minutos son mejores que 8X10-4Pa
2. blanco: 4 pies de blanco de la rotación (con el escudo),
revolución, rotación y exploración, distancia del substrato de la
blanco ajustable (30-90m m)
3. rotación del substrato: revolución, rotación de dos muestras de
escudo de la toga
4. temperatura de calefacción del substrato: el uso de la placa
solar acorazada, ajustable continuo 0-800℃; usando el instrumento
del control de la temperatura para la medida de la temperatura y el
control automáticos del PID, exactitud ±1℃ del control de la
temperatura
5. flujómetro total del MFC de 2 maneras (gama: 0-100sccm) controla
el flujo de gas
6. sistema de control: control de la pantalla táctil +PLC