Máquina de recubrimiento PVD para el blanco de titanio y el blanco de polvo de silicio Gr5 Gr7
La palabra "objetivo" en "objetivo de pulverización de titanio" proviene de los materiales comunes en nuestra vida cotidiana.el material de recubrimiento es bombardeado por un haz de electrones o un haz de iones, al igual que el objetivo es golpeado, por lo que el material utilizado en el proceso de pulverización se llama el "objetivo de pulverización".
De titanio metálico a blanco de pulverización de titanio
El objetivo de pulverización de titanio es un producto de titanio hecho de titanio metálico como materia prima, que se utiliza para producir película de titanio mediante pulverización.Hay dos métodos para fabricar blanco de pulverización de titanio con el método de fundición de titanio metálico y el método de metalurgia de polvo.
Fundir: derretir las materias primas con una cierta proporción, verter la solución de aleación en el molde para formar lingotes, y finalmente procesarlos en objetivos de pulverización.El método consiste en fundir y fundir en vacío.
Metallurgia de polvo: derritir las materias primas con una cierta proporción, fundirlas en lingotes, triturarlas, presionar el polvo isostáticamente y luego sinterizarlas a alta temperatura para hacer objetivos.
Nombre del producto: Dispersión de blanco de titanio
Material: Titanio puro: GR1 GR2
Purificación >= 99,6%
Aplicación:hardware, decoración, herramientas, cerámica, golf y otras industrias de recubrimiento.
Dimensión:
Objetivo de pulverización redonda: Φ100×40, Φ95×45, Φ80×40, Φ90×40, Φ85×35 y otros tamaños específicos.
Objetivo de pulverización de tubos: Φ70×7×L900--2000mm, Φ89.4mmX7.62mmX1728mm, Φ89.4mmX15mmX1728mm, Φ80mmX10mmX1728mm y otros tamaños específicos.
Objetivo de pulverización de placas: T6-40 × W60 - 800 × L600 - 2000 mm y otros tamaños específicos.
Podemos personalizar objetivos de aleación en diferentes proporciones de acuerdo con las necesidades del cliente
Objetivos de pulverización de titanio de alta pureza
| Nombre del producto |
Objetivos de pulverización de titanio para la máquina de recubrimiento de pvd |
| Grado |
Titanio (Gr1, Gr2, Gr5, Gr7, GR12)
El objetivo de la aleación: Ti-Al, Ti-Cr, Ti-Zr, etc.
Otros materiales: cromo, zirconio, cobre, tungsteno, etc.
|
| Origen |
Ciudad de Baoji, provincia de Shaanxi, China |
| Contenido de titanio |
≥ 99,5 (%) |
| Contenido de impurezas |
En el caso de las empresas de servicios de telecomunicaciones: |
| Densidad |
4.51 o 4,50 g/cm3 |
| Estándar |
Las pruebas de la norma ASTM B348 y la norma ASTM B381 |
|
Tamaño
|
1. Objetivo redondo: Ø30-2000 mm, grosor 3,0 mm-300 mm;
2. Targa de la placa: longitud: 200-500 mm anchura: 100-230 mm espesor: 3--40 mm
3. Objetivo del tubo: Diámetro: 30-200 mm espesor: 5-20 mm longitud: 500-2000 mm
4. Personalizado está disponible
|
| Técnica |
Forjadas y mecanizadas por CNC |
| Aplicación |
Separación de semiconductores, materiales de revestimiento por película, recubrimiento de electrodos de almacenamiento, recubrimiento por pulverización, recubrimiento superficial, industria del recubrimiento de vidrio. |
Requisitos básicos para los objetivos de pulverización de titanio:
En general, se tendrán en cuenta los siguientes indicadores al medir si el objetivo de pulverización cumple los requisitos principales:
Pureza: La pureza tiene una gran influencia en el rendimiento de la película pulverizada.propiedades eléctricas y ópticas de la película pulverizada.
Contenido de impurezas: las impurezas en el sólido objetivo y el oxígeno y el vapor de agua en los poros son las principales fuentes de contaminación de la película de deposición.Diferentes materiales objetivo tienen requisitos diferentes para su contenido de impurezas.
Densidad: La densidad del blanco no sólo afectará a la velocidad de pulverización, sino que también afectará a las propiedades eléctricas y ópticas de la película.para reducir la porosidad en el sólido objetivo y mejorar el rendimiento de la película pulverizada, el objetivo se requiere generalmente para tener una alta densidad.
Tamaño del grano y distribución del grano: para el mismo objetivo, la velocidad de pulverización del objetivo de grano fino es más rápida que la del objetivo de grano grueso;Cuanto menor sea la diferencia de tamaño de partícula (distribución uniforme), cuanto más uniforme sea el grosor de la película de deposición de pulverización de destino.
Requisitos químicos
| |
No |
C. Las |
H. |
Fe |
¿ Qué? |
- ¿ Qué? |
V. |
Pd |
¿ Qué pasa? |
¿ Qué? |
Ti |
| Grado 1 |
0.03 |
0.08 |
0.015 |
0.20 |
0.18 |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
el balón |
| Gr2 |
0.03 |
0.08 |
0.015 |
0.30 |
0.25 |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
el balón |
| Grado 5 |
0.05 |
0.08 |
0.015 |
0.40 |
0.20 |
5.5 ~ 6.75 |
3.5 ~ 4.5 |
/ |
/ |
/ |
el balón |
| Gr7 |
0.03 |
0.08 |
0.015 |
0.30 |
0.25 |
/ |
/ |
0.12 ~ 0.25 |
/ |
/ |
el balón |
| Gr9 |
0.03 |
0.08 |
0.015 |
0.25 |
0.15 |
2.5 ~ 3.5 |
2.0 ~ 3.0 |
/ |
/ |
/ |
el balón |
| Gr12 |
0.03 |
0.08 |
0.015 |
0.30 |
0.25 |
/ |
/ |
/ |
0.2 ~ 0.4 |
0.6 ~ 0.9 |
el balón |
Garantizar la calidad
A. De acuerdo con normas reconocidas a nivel mundial, como ASTM, AMS, ASME. Proporcionar informes de inspección de terceros. Sistema de gestión de calidad ISO.
B. Inspección visual para comprobar la calidad de la superficie, asegurando la ausencia de defectos, puntos negros y otros defectos.
C. Composición química asegurándose de que todos los componentes químicos puedan satisfacer las demandas del cliente.
D. Pruebas de propiedades mecánicas para asegurarse de que todos los productos de titanio tengan características mecánicas satisfactorias antes de la entrega.
El material:
1) Objetivo de aleación de Ti/Al (67:33,50:50 en el%)
2) Objetivo de aleación W/Ti (90:10 wt%),
3) Objetivo de aleación Ni/V (93:7, en peso%)
4) Objetivo de aleación Ni/Cr (80:20, 70:30, en peso%),
5) Objetivo de aleación Al/Cr (70:30,50:50 en el%)
6) Objetivo de aleación Nb/Zr (97:3,90:10 wt%)
7) Objetivo de aleación de Si/Al (90:10, 95:5, 98:2, 70:30, en peso%)
8) Objetivo de aleación Zn/Al
9) Objetivo de cromo de alta pureza (99,95%, 99,995%)
10) Objetivo de aleación Al/Cr (70:30, 50:50, 67:33, en%)
11) Objetivo de aleación de Ni/Cu (70:30, 80:20, en peso%)
12) Objetivo de aleación de Al/Nd (98:2wt%)
13) Objetivo de aleación Mo/Nb (90:10, en peso%)
14) Objetivo de aleación de TiAlSi (Ti/Al/Si=30/60/10, 33/67, 40/50/10,wt% y en%)
15) Objetivo de aleación de CrAlSi (Cr/Al/Si=30/60/10,wt% y en%)
Envasado
piezas de implante dental de disco/disco/bloque de material de anio
Detalles del embalaje: Después de haber sido probados, los productos cualificados se envasarán con Pack PE en una caja de madera.
para la prevención de colisiones o podemos adaptarnos a sus necesidades específicas.
El paquete de Sputtering Target es muy profesional, cuidadoso y seguro.
Conocimiento de los grados de titanio
El titanio se clasifica en varios grados en función de su composición y propiedades.El grado 2 (Gr2) es también comercialmente puro pero con una resistencia ligeramente mayorEl grado 5 (Gr5), también conocido como Ti-6Al-4V, es una aleación que contiene aluminio y vanadio, ofreciendo relaciones de resistencia/peso superiores.lo que lo hace ideal para aplicaciones que exigen un alto rendimiento bajo tensión.
Las aleaciones de TiAl, que combinan titanio con aluminio, proporcionan una mayor dureza y estabilidad térmica.Esto los hace particularmente valiosos para revestimientos que requieren una excelente resistencia al desgaste y rendimiento a temperaturas elevadasLas propiedades únicas de estos grados y aleaciones de titanio los convierten en opciones favorables para diversas aplicaciones de PVD.cuando la calidad del revestimiento tenga un impacto directo en el rendimiento del producto final.
El papel de los objetivos de pulverización en el revestimiento PVD
Los objetivos de pulverización son materiales que son bombardeados por partículas cargadas de alta velocidad durante el proceso de revestimiento PVD.Los átomos se expulsan de su superficie y se depositan en un sustratoLa elección del material objetivo influye directamente en las propiedades de la película resultante, lo que permite la personalización de los recubrimientos para satisfacer requisitos específicos.Seleccionando diferentes materiales objetivo, como las aleaciones de aluminio, cobre o titanio, los fabricantes pueden producir películas con características variables, incluida la súper dureza, la resistencia al desgaste y las propiedades anticorrosivas.
En el caso de los objetivos de pulverización de titanio, la capacidad de producir películas que muestran una adhesión superior, baja fricción y alta dureza es particularmente beneficiosa.Estas propiedades son cruciales para aplicaciones en industrias como la aeroespacialEn el caso de los materiales de alta calidad, los componentes están sometidos a condiciones extremas y deben mantener su integridad a lo largo del tiempo.Los fabricantes pueden lograr recubrimientos que mejoren el rendimiento y la longevidad de los componentes críticos.
Ventajas de los objetivos Gr1, Gr2, Gr5 y TiAl
Las ventajas de usar objetivos de pulverización de titanio Gr1, Gr2, Gr5 y TiAl son múltiples.La alta resistencia a la corrosión de los grados 1 y 2 los hace adecuados para entornos que exponen los materiales a sustancias químicas agresivas o al agua de mar.Estos grados aseguran que los recubrimientos mantengan su integridad, proporcionando una protección duradera para los sustratos subyacentes.
Los objetivos de titanio Gr5, con su resistencia excepcional, son ideales para aplicaciones de alto estrés, como en componentes aeroespaciales donde el ahorro de peso es crítico.excelencia en aplicaciones de alta temperatura, que ofrece una estabilidad térmica que evita la degradación durante una exposición prolongada al calor.La combinación de estas ventajas permite a los fabricantes adaptar sus recubrimientos a las demandas operativas específicas, garantizando que los productos finales funcionen de manera óptima en los entornos previstos.
Comprender los objetivos de pulverización
La pulverización es una técnica de deposición utilizada para crear películas delgadas en varios sustratos.que expulsan átomos de la superficie del objetivoEstos átomos expulsados luego se depositan en un sustrato, formando una película delgada.La pulverización es preferida en aplicaciones médicas por su capacidad para producir recubrimientos uniformes con un control preciso sobre el grosor y la composición.
Los objetivos metálicos, incluido el titanio, son particularmente valiosos en el sector médico debido a sus propiedades mecánicas favorables, su resistencia a la corrosión y su biocompatibilidad.es ampliamente utilizado para aplicaciones médicas debido a su relación resistencia/peso y su capacidad para integrarse sin problemas con el tejido humano.
La importancia del titanio en aplicaciones médicas
El titanio es un material excepcional en el campo médico, principalmente debido a su biocompatibilidad.lo que lo hace ideal para implantes a largo plazo como prótesis ortopédicas y accesorios dentalesAdemás, la resistencia a la corrosión del titanio asegura que mantenga su integridad en los ambientes hostiles que a menudo se encuentran dentro del cuerpo humano.
Cuando se utiliza como blanco de pulverización, el titanio se puede personalizar para cumplir con los requisitos específicos de varios dispositivos médicos.estructura del grano, y la compacidad del material objetivo, lo que influye directamente en las propiedades de las películas depositadas.
Aplicaciones de objetivos de pulverización en la industria médica
Los objetivos de pulverización de titanio personalizados se utilizan en una variedad de aplicaciones médicas, incluidas:
-
Implantes ortopédicos: los recubrimientos de titanio mejoran las propiedades superficiales de los dispositivos ortopédicos, mejorando la biocompatibilidad y reduciendo el desgaste.Esto es crucial para los implantes que soportan cargas mecánicas significativas.
-
Implantes dentales: los recubrimientos de titanio esputados mejoran la osteointegración de los implantes dentales, promoviendo una mejor unión con el tejido óseo circundante.
-
Instrumentos quirúrgicos: los recubrimientos aplicados mediante pulverización pueden mejorar la dureza y la resistencia a la corrosión de las herramientas quirúrgicas,prolongando su vida útil y manteniendo su rendimiento a través de ciclos de esterilización repetidos.
-
Sistemas de administración de fármacos: Las técnicas innovadoras de pulverización permiten el desarrollo de películas ultrafinas que pueden facilitar la liberación controlada de fármacos, mejorando la eficacia del tratamiento.
Tendencias futuras en la tecnología de pulverización
A medida que la industria médica continúa evolucionando, el papel de la tecnología de pulverización es cada vez más importante.Las investigaciones en curso sobre materiales avanzados y técnicas de deposición prometen abrir nuevas posibilidades para aplicaciones médicasPor ejemplo, la incorporación de la nanotecnología en los procesos de pulverización puede conducir al desarrollo de recubrimientos multifuncionales que combinan propiedades antimicrobianas con una mayor resistencia mecánica.
Además, el creciente énfasis en la medicina personalizada está impulsando la demanda de objetivos de pulverización personalizados adaptados a las necesidades individuales del paciente.Los fabricantes están invirtiendo en métodos de producción avanzados para crear objetivos de pulverización que cumplan con estos requisitos específicos, asegurando que los productos médicos puedan proporcionar resultados óptimos.
Titanio en usos médicos:
El titanio, especialmente el grado 1 y el grado 2, es muy apreciado en los campos médico y biomédico por su biocompatibilidad, resistencia y características de peso ligero.Se usa comúnmente en dispositivos médicos porque no es dañino para el cuerpo y no es probable que cause reacciones alérgicas..
Principales usos médicos del titanio:
- Implantes ortopédicos: El titanio se utiliza comúnmente en tornillos óseos, placas, reemplazos articulares e implantes espinales porque imita las propiedades del hueso.
- Implantes dentales: La biocompatibilidad y la resistencia del titanio lo convierten en una opción perfecta para implantes dentales que requieren una alta durabilidad y resistencia a la corrosión.
- Instrumentos médicos: debido a su resistencia a la corrosión, las herramientas quirúrgicas, agujas, bisturí y otros instrumentos médicos a menudo están hechos de titanio o aleaciones de titanio.
- Prótesis: El titanio se utiliza en la producción de prótesis y implantes por su combinación de ligereza y resistencia.
- Dispositivos cardiovasculares: El titanio se utiliza en la producción de casos de marcapasos, stents y válvulas debido a su naturaleza no reactiva en el cuerpo humano.
- Revestimientos resistentes al desgaste: los objetivos de pulverización de titanio se pueden utilizar para depositar recubrimientos delgados en dispositivos médicos para mejorar la resistencia al desgaste, reducir la fricción y mejorar la biocompatibilidad.
Grados de titanio:
| Requisitos químicos |
| |
No |
C. Las |
H. |
Fe |
¿ Qué? |
- ¿ Qué? |
V. |
Pd |
¿ Qué pasa? |
¿ Qué? |
Ti |
| Grado 1 |
0.03 |
0.08 |
0.015 |
0.20 |
0.18 |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
el balón |
| Gr2 |
0.03 |
0.08 |
0.015 |
0.30 |
0.25 |
/ |
/ |
/ |
/ |
/ |
el balón |
| Grado 5 |
0.05 |
0.08 |
0.015 |
0.40 |
0.20 |
5.5 ~ 6.75 |
3.5 ~ 4.5 |
/ |
/ |
/ |
el balón |
| Gr7 |
0.03 |
0.08 |
0.015 |
0.30 |
0.25 |
/ |
/ |
0.12 ~ 0.25 |
/ |
/ |
el balón |
| Gr12 |
0.03 |
0.08 |
0.015 |
0.30 |
0.25 |
/ |
/ |
/ |
0.2 ~ 0.4 |
0.6 ~ 0.9 |
el balón
|
Conclusión:
Los objetivos de pulverización de aleaciones de titanio, incluidas las aleaciones de TiAl, son materiales versátiles ampliamente utilizados para aplicaciones de recubrimiento en industrias que van desde la industria aeroespacial hasta la electrónica y la biomedicina.Estos materiales proporcionan propiedades excepcionales como la resistencia, resistencia a la corrosión, biocompatibilidad y resistencia al desgaste, por lo que son ideales para aplicaciones exigentes que requieren películas finas duraderas y de alto rendimiento.Cuando se elija un blanco de pulverización de titanio, factores como la composición de la aleación, la pureza y la geometría del objetivo deben considerarse para lograr resultados óptimos en el proceso de pulverización.
