Barco de cerámica de la oblea de semiconductor para la difusión de 8" oblea que procesa el barco de 25 obleas

Palabras claves: Barco de la oblea de semiconductor

Características:

8" barco de la oblea se hace del cuarzo ultraalto de la pureza (pureza 4N) con la temperatura de trabajo 1200oC
Puede llevar las obleas de 25 pedazos de 8" el diámetro en cada barco
Diseñe para la difusión, la oxidación y el recocido 4" oblea del Si
Puede caber en horno de tubo de GSL1100X-11-III
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La invención se relaciona con un estante vertical para la oblea de semiconductor que procesa estrictamente horizontalmente disponiendo los brazos en donde cada brazo tiene una extremidad redondeada y un liso (superficie < 1="">superior del Ra m).

La fabricación de dispositivos de semiconductor tales como circuitos integrados requiere típicamente el calor que trata las obleas de silicio en presencia de los gases reactivos. Durante este proceso, las temperaturas y las concentraciones de gas a las cuales se exponen los dispositivos deben ser cuidadosamente controlados, pues los dispositivos incluyen a menudo elementos del conjunto de circuitos menos de 1 um de tamaño que son sensible a las variaciones minuciosas en el ambiente de proceso.

La industria fabril del semiconductor procesa típicamente estas obleas en portadores horizontales o verticales. El portador horizontal, típicamente llamado un “barco”, tiene tres o cuatro barras horizontalmente dispuestas dispuestas en un semicírculo diseñan, con cada barra teniendo interno hacer frente a los surcos fijados en esto a intervalos regulares. Cada sistema de surcos define un espacio vertical para llevar una oblea verticalmente dispuesta. El portador vertical, típicamente llamado un “estante vertical”, tiene tres o cuatro barras verticalmente dispuestas (o postes) dispuestos en un diseño del semicírculo, con cada poste haciendo ranuras fijar en esto a intervalos regulares para definir un espacio para apoyar una oblea horizontalmente dispuesta. Para asegurar la precisión geométrica requerida en este campo, las tres o cuatro barras se fijan a una placa superior y a una chapa fonda. Las porciones del poste entre cada ranura, llamadas los “dientes”, se espacian idénticamente para apoyar las obleas a intervalos regulares de y paralelo a la chapa fonda. El estante entero entonces se coloca dentro de un horno vertical para procesar las obleas.

Barco de cerámica de la oblea del alúmina

Porque una oblea procesada en experiencias verticales de un estante menos de una pendiente de temperatura sobre su cara (con respecto a una oblea procesada en un barco horizontal), fabricantes del semiconductor está dando vuelta cada vez más a los hornos verticales. Hay, sin embargo, una desventaja a furnacing vertical. Las obleas dispuestas en un estante vertical convencional se apoyan en su borde exterior solamente. Como tal, las áreas de la oblea que se basa sobre estos dientes experimentan una tensión más alta que el resto de la oblea. Cuando las temperaturas en el horno se exceden sobre 1000°C, estas tensiones llegan a ser a menudo significativas y las porciones de la sola oblea cristalina mueven en relación con a lo largo de las placas cristalográficas en respuesta a esa tensión. Este fenómeno, llamado “resbalón”, destruye con eficacia el valor de los dispositivos de semiconductor situados en el área de la oblea donde ha ocurrido el resbalón.

Características de cerámica del barco de la oblea:

Pureza elevada
Aislador eléctrico y termal excelente
Resistencia excepcional de la temperatura hasta 3000°F (1650°C)
Resistencia a la corrosión excepcional a los ácidos, a los solventes, a las sales, y a la materia orgánica

	Unidad	El 95% Al2O3	El 99% Al2O3	ZrO2	GP-Si3N4
Color	-	blanco	marfil	blanco	gris
Densidad	³ de g/cm	3,70	3,90	6,04	3,31
Absorción de agua	%	0	0	0	0
Módulo de Young	Gpa	280	350	205	295
Dureza de Vickers	Gpa	14	20	12	18-20
Fuerza flexural (en R.T.)	Mpa	280	300	900	650
Fuerza compresiva (en R.T.)	Mpa	2000	2500	2200	2200
Conductividad termal (en R.T.)	Con (m.K)	18-25	30	2,2	25
Resistencia de choque termal	ΔT (°C)	220	180-200	280-350	450-650
Max. Working Temperature (en R.T.)	°C	1500	1700	800	1200
Resistencia de volumen (en R.T.)	Ω.cm	>10^15	>10^14	>10^12	>10^14
Constante dieléctrica (1 megaciclo en R.T.)	-	9,50	9,80	26	8,20
Fuerza dieléctrica	kV/mm	16	22	-	16

Rotor típico de las características: Diámetro exterior: < 30=""> 0.051 milímetros (.0002") de profundidad de > longitud 0,13 milímetros (.0052") de > estator 2,00 milímetros (.0780"): Diámetro exterior: < 30=""> 0,22 milímetros x 0,25 milímetros (.008" x .010") circona de final, del rotor o del estator de la superficie: alúmina m (1  adentro) o N1 el 99,9% del  del  0.025:  m (del  0,05  2 adentro) o alúmina el 96% o el 99,7% del N2:  0,1 al  0,2 m (4 a  8 adentro) o N3 a N4

Ventaja del barco de cerámica de la oblea

1. isostático presionado.
2. resistencia de fuego.
3. fuerza mechnical superior.
4. alta resistencia de la corrosión y de desgaste.
5. resistencia de la temperatura alta.
6. buena precisión del funcionamiento del aislamiento.
7. material de cerámica de la circona y del alúmina.

Son alta resistencia de la corrosión y de desgaste y resistencia de impacto fuerte y entregan una vida laboral de 10 veces más larga que el émbolo del metal. Dan una vida más larga al material de embalaje sellado.

Dibujos:

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Empaquetado y envío

Embalado en el bolso de los PP o la bandeja de la esponja, entonces puesta en el embalaje estándar del cartón de la exportación, o el embalaje del OEM.
Enviado por el transporte del aire (DHL, TNT, UPS, Fedex, el ccsme), o del mar.

Información de compañía

¿Quién son nosotros?

Mingrui es una fábrica profesional con experiencia del OEM de los años en la fabricación de piezas de cerámica industriales.

¿Qué hacemos?

Producimos (OEM) circona fortalecida de la estructura y barra de cerámica del alúmina, tubo, eje, placa, manga, válvula, émbolo, transporte, boca y brazo de cerámica, son aplicables a los instrumentos, los instrumentos médicos, los relojes y los productos, los molinos, energía y poder, máquina y los metales, autocar y militar electrónicos, vuelo espacial y algunos otros campos de gama alta.

Todos nuestros productos con los certificados, por ejemplo, CE, TUV, y así sucesivamente.

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