La tirada de cerámica del vacío incluye una tabla, tabla se proporciona un cuerpo cóncavo; la base se arregla en la tabla cóncava, base partida y la tabla está situada en el mismo avión; la capa de la matriz del lechón se arregla en la tabla y la fractura en la capa baja del substrato incluye una primera porción de la succión que tiene un primer radio y la segunda parte está en segundo lugar del radio y del radio del primer radio menos de que en segundo lugar; la capa de trabajo se arregla en el disco que chupa en la primera porción; la primera estructura externa del anillo se arregla en la tabla al borde del anillo externo; y la primera estructura de fijación con abrazadera, y los segundos sistemas del anillo externo estructuran arreglado en la capa de la tirada y la capa baja del lechón; la plataforma cóncava se arregla en el vacío a través del agujero de conexión común de la estación de trabajo, base partida se proporciona agujero correspondiente del vacío de la junta del vacío un primer del agujero de conexión, lechón que la capa de la matriz se proporciona una pluralidad de segunda succión del vacío a través del agujero de la capa baja. Este esquema mejora la estabilidad y la eficacia del equipo.

tirada del vacío; dispositivo del apretón del vacío
escritorio; el efectuar; galería; piso de funcionamiento; plataforma de funcionamiento
base; pedestal; fundación; lampstand; cama
lechón; disco trocal; chupar el disco; acetábulo; acetábulos

El dispositivo de cerámica del apretón del vacío es una herramienta especial usada en curso de producción del semiconductor para la adsorción y la carga. Se aplica a los procesos de la reducción, del corte en cuadritos y otro. El lechón producido por nuestra compañía se puede hacer juego con el equipo japonés, alemán y nacional, y tiene ventajas superiores del funcionamiento de coste.

Características del dispositivo de cerámica del apretón del vacío

Tiene estabilidad química excelente y no reacciona con ninguna sustancia;

Buenos llanura y paralelismo;

Tiene las características de la estructura uniforme, de alta resistencia y de la durabilidad;

Los poros son uniforme y la fuerza de la adsorción es uniforme;

Fácil cambiar, ciclo de elaboración corto;

Puede ser modificado para requisitos particulares según requisitos de cliente.

Dispositivo de cerámica del apretón del vacío de las ofertas de Mingrui para la gestión mejorada de la producción en el proceso de la oblea de semiconductor. las configuraciones del Bajo-superficie-contacto reducen el riesgo de partículas de la parte trasera, que tienen impacto negativo en geometría de la oblea en usos de la precisión. Las ofertas de la compañía:

Resistencia de desgaste extrema
Capacidad de gran tamaño - 300m m y más allá
Extensión termal baja
Alta tiesura
Excepcionalmente ligero
Pulimento del espejo
capacidades Ultra-planas

Los brazos de dirección a prueba de calor, de seguridad proporcionan alta función.

Un brazo de dirección a prueba de calor, damageless. Podemos aplicar capas tales como diamante como el carbono (DLC) a la superficie de cerámica para la función aumentada que atenúa daño a las obleas/a los paneles de cristal y evita que la contaminación difunda.

Productos: Tiradas y efectores finales de cerámica de la oblea

El dispositivo y los efectores finales de cerámica del apretón del vacío se utilizan para manipular y para llevar las obleas de silicio

con el proceso de producción entero. La inercia química de la cerámica permite que esos componentes sean contaminación-libres para la oblea particularmente en baños mojados químicos de la aguafuerte.
Estos artículos permiten la dirección de obleas de gran tamaño y se pueden diseñar con los canales del vacío para celebrar la partición.

Los componentes de cerámica de los usos se pueden utilizar en el equipo de proceso del semiconductor siguiente:

La deposición y el ion implantan las máquinas
Equipo mojado químico de la aguafuerte
máquinas del Fracaso-análisis
Tiradas electrostáticas

Mingrui de cerámica puede ofrecer los productos siguientes:

Placas del aislador para las tiradas electrostáticas (E-tiradas)
Embases para las tiradas termas
Efectores finales

Los materiales de cerámica más de uso general son:

Alúmina óxido – o de aluminio – mínimo de cerámica del alúmina del 95%
circona

Juego de cerámica de la placa de la succión de la oblea un papel dominante en el equipo de la transferencia de la oblea como descargador de la oblea y maquinaria automáticos del cargador de la oblea.

La placa de cerámica de la succión del vacío de la oblea de LPCVD se utiliza principalmente en el rodaje de películas fina solar del semiconductor, como la carga de la oblea del diffussion y descarga la máquina. Utilizó para el cargamento y la descarga de la oblea.

Los brazos de dirección a prueba de calor, de seguridad proporcionan alta función.

Barco de cerámica de la oblea de la circona de la fabricación de Mingrui usado en el horno de difusión automático del sistema de tramitación de la oblea. Como circona de cerámica con el charactheristic del desgaste - resistente, resistentes des alta temperatura,

el barco de cerámica de la oblea es una buena opción para el portador del wafter.

Descarga integrada del loading& de la oblea, descargando las obleas difundidas del barco de cerámica de la oblea

al casete o a cargar las obleas texturizadas del casete al barco de cerámica de la oblea. Disponible para las obleas continuas dobles en una ranura en barco de cerámica de la oblea que realizan la sola difusión lateral o disponible para la sola oblea en una ranura para el proceso de difusión lateral doble. Con la oblea continua el loading&unloading puede garantizar la producción continua. O utilícese solamente para el cargamento de la oblea o la descarga está también disponible.

Un barco de cerámica de la oblea para contener un semiconductor o una oblea solar que comprende

por lo menos un miembro de la ayuda de la oblea que contiene por lo menos una ranura capaz de recibir por lo menos una porción de un borde periférico de una oblea, en donde en ayuda de la oblea el miembro comprende el carburo de silicio; y

por lo menos un miembro estructural para transportar el barco de la oblea en y de un dispositivo de proceso conectó con el miembro de la ayuda de la oblea, en donde comprenden al miembro estructural de un material de cerámica que no sea carburo de silicio.

Características técnicas

·Con el loading& continuo de la oblea la descarga puede garantizar la producción continua. O utilícese solamente para el cargamento de la oblea o la descarga está también disponible.

·Con el sistema perfecto de la detección y de alarma que garantiza la operación estable y automática.

·Con el método de la circulación de la placa de base del casete que reducen la intensidad de trabajo.

·Estructura modular del programa de control, altamente repetible y legible, que es conveniente para la extensión de la función en futuro y mantenimiento;

·Con el diseño de datos de la receta que permite al equipo trabajar con diversas clases de barco de cerámica de la oblea con diversa exactitud, mientras que el equipo corriente seguirá el barco no automáticamente y recuperará los datos correspondientes de la receta sin la intervención humana.

Hoja de cerámica de la fecha del alúmina y de la circona:

Propiedades	Unidades	Alúmina 95	Alúmina 99	ZrO2
Densidad	g / ³ del cm	3,65	3,92	³ de los 5.95-6.0g/cm
Absorción de agua	%	0	0	0
Coeficiente de extensión termal	10^-6 /K	7,9	8,5	10,5
Módulo de la MOD de Young de la elasticidad	GPa	280	340	210
El ratio de Poisson	/	0,21	0,22	0,3
Alto voltaje de la dureza del alto voltaje	MPa	1400	1650	1300-1365
Temperatura ambiente de la fuerza flexural @	MPa	280	310	950
Fuerza flexural @700°C	MPa	220	230	210
Temperatura ambiente de la fuerza compresiva @	MPa	2000	2200	2000
Dureza de la fractura	*m el ^{1/2 del} MPa	3,8	4,2	10
Temperatura ambiente de la conductividad de calor @	W/ m*k	18-25	26-30	2-2.2
Temperatura ambiente eléctrica de la resistencia @	Ω*mm2 /m	>10¹⁵	>10¹⁶	>10¹⁵
Temperatura máxima del uso	°C	1500	1750	1050
Resistencia al ácido alcalino	/	alto	alto	alto
Constante dieléctrica	/	9,5	9,8	26
Fuerza dieléctrica	KV/mm	16	22	/
Resistencia de choque de Thermol	△ T (°C)	220	180-200	280-350
°C 25 de la resistencia a la tensión @	MPa	200	248	252

Para ver cómo podemos ayudarle con su industria del semiconductor, éntrenos en contacto con hoy.

Intriduction de cerámica industrial

El óxido de aluminio, Al2O3 es el material de cerámica técnico lo más extensamente posible aplicado y rentable. Ofrece una combinación de fuerza mecánica superior y las propiedades, resistencia de desgaste y resistencia a la corrosión eléctricas. La temperatura de trabajo máxima es el °C hasta 1700 con conductividad termal relativamente alta. Es también un material eléctricamente de aislamiento con una alta resistencia eléctrica. La buena resistencia a la corrosión hace insoluble en agua y levemente soluble en ácido fuerte y la solución alcalina.

Introducción de la compañía
La fabricación de cerámica de Mingrui y proporciona los componentes de cerámica del alúmina para una amplia gama de uso como el equipo mecánico, la perforación petrolífera electrónica y eléctrica, la industria médica, química etc. según el uso real y el requisito de cliente, las purezas varían a partir del 95%-99.7% y los métodos de formación serán diferentes. Los métodos de formación aplicados en nuestra planta incluyen presionar seco, el presionar isostático, moldeado de la inyección, moldeado de la protuberancia. Con los ingenieros experimentados y los trabajadores talentosos, nos sentimos confiados ofrecer la precisión de alta calidad, alta, componentes complejos para los clientes por todo el mundo.

La cerámica de Mingrui tiene años de experiencia que diseñan y que desarrollan las soluciones de cerámica técnicas para una amplia variedad de usos y de industrias. Material refractario de alta temperatura que trabaja a máquina el equipo de cerámica del laser de las piezas. Ofrecemos esta experiencia a todos nuestros clientes para asegurarnos que el mejores diseño y materiales están elegidos para su uso y necesidades específicos. El material refractario de alta temperatura que trabaja a máquina el equipo de cerámica del laser de las piezas, típicamente, nuestros componentes y piezas de cerámica técnicos de encargo que suministramos se utiliza para una de tres razones principales:

FAQ

Q: ¿Es usted empresa comercial o el fabricante?

A: Somos fábrica.

Q: ¿Cuánto tiempo es su plazo de expedición?

A: Es generalmente 5-10 días si las mercancías están en existencia. o es 15-20 días si las mercancías no están en existencia, él está según cantidad.

Q: ¿Usted proporciona muestras? ¿es libre o adicional?

A: Sí, podríamos ofrecer la carga de la muestra gratis pero no pagamos el coste de carga.

Q: ¿Cuál es sus términos del pago?

A: Payment=1000USD<>, el 30% T/T por adelantado, balanza antes del envío.

Si usted tiene cualquier otra pregunta, los pls no dude en para entrarnos en contacto con.

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