Estación de bombeo FJ-110, refrigeración por aire con RVP-4 y ZDF-11A2 FJ-110 Sandard Turbo Molecular Pump Unit es un equipo de limpieza para obtener alto vacío.
Dicho equipo es un sistema de obtención de vacío que adopta el principio de vacío y consiste en una bomba mecánica y una bomba molecular. Se caracteriza por un arranque rápido, alto vacío, poca contaminación por aceite, fácil operación y etc., y se usa ampliamente en los campos de análisis de superficies, tecnología de aceleradores, tecnología de plasma, fabricación de dispositivos de vacío eléctricos y otras áreas de vacío. El equipo se compone específicamente de bastidores no estándar, bombas y tuberías mecánicas, sistemas de control eléctrico, agua. Control de protección de enfriamiento y etc
Parámetros principales:
Vacío final (sin carga): ≤ 9 × 10-5Pa
Índice de fugas del sistema de vacío: ≤ 5 × 10-9Pa · M3 / S
Tensión de alimentación: 220V ± 10 / 50Hz
Mothod de refrigeración: refrigeración por aire (temperatura ambiente ≤ 25)
Temperatura ambiente para la utilización del equipo: 5-40
Humedad ambiente para la utilización del equipo: ≤ 80%.
Configuración:
| Nombre | Número |
| Bomba molecular F-100/110 y fuente de alimentación (CF) | 1 |
| Bomba de respaldo RVP-4 | 1 |
| Fuente de alimentación de control | 1 |
| Cuadro | 1 |
| Cámara de transición CF100 / CF35 / CF35 | 1 |
| Válvula de aislamiento manual CD-35F | 1 |
| Combinación de vacío ZDF-11A2 | 1 |
| Otros accesorios | |
Presupuesto:
| Unidad | FJ-110 |
| Brida (In) | | DN100CF |
| DN100 ISO-K |
| Brida (Fuera) | ISO-KF | DN25 |
| Velocidad de bombeo | l / s | N 2 : 110 |
| El: 100 |
| H2 2 : 50 |
| Ar: 100 |
| Índice de compresión | | N 2 : 10 8 |
| Él: 10 2 |
| H2 2 : 10 2 |
| Ar: 10 8 |
| Presión máxima | Pensilvania | CF: 6 × 10 -7 |
| ISO-K: 6 × 10 -6 |
| Presión de vacío recomendada | Pensilvania | 100 |
| bomba de vacío | | RVD-4 (por defecto) |
| Tipo de enfriamiento, Estándar | | Aire |
| Consumo de agua de enfriamiento | L / min | > 1 |
| Temperatura del agua de enfriamiento | ℃ | ≤25 |
| Voltaje de entrada / frecuencia | V / Hz | 220 ± 22/50 |
| Temperatura ambiente () | | |
| Aire acondicionado | 5 ℃ -32 ℃ |
| posición de montaje | | Vertical |
| Modelo de controlador | | FD-110B |
| L * W * H | mm | 500 × 510 × 840 |
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| Peso | kg | 52 |
