SEM, EM6900 Std, filamento de tungsteno, SE + BSE, resolución 3nm @ 30KV (SE) Como KYKY tiene más de 60 años de experiencia en la fabricación de SEM, toda la serie EM es compatible con el antiguo sistema reformado y personalizado como SEM +, como la remodelación de litografía por haz de electrones, la actualización de LaB6, integrada con STM, AFM, etapa de calefacción; nano manipulador, etc. El sistema también tiene una interfaz múltiple en la cámara para conectar la mayoría del detector de análisis en el mercado
El EM6900 estándar con la máxima resolución que se puede obtener del filamento de tungsteno SEM y también tiene el conjunto de detectores SE + BSE más conveniente, en comparación con el EM6200, ha mejorado la fase de muestra, mejorado el objetivo y la optimización de las rutas de vacío que es amigable para el cliente que está dispuesto a hacer El análisis de extensión basado en el filamento de tungsteno SEM.
El sistema de operación en varios idiomas, el panel de control integrado, el cliente podría controlar toda la unidad simplemente con el mouse y el teclado, un completo plan de servicio postventa con soporte técnico de por vida.
Ventajas:
◆ alta resolución
◆ LaB 6 actualizable, gran escenario de muestra, etc.
◆ Esquemas de modificación múltiple.
◆ conjunto completo de software automatizado
◆ Bajo costo de mantenimiento.
Presupuesto:
| ít | EM6900 Std Filamento De Tungsteno SEM |
| Resolución | 3nm @ 30KV (SE) 6nm @ 30KV (BSE) |
| Aumento | Ampliación negativa: 6X ～ 300000X Ampliación de pantalla: 12X ～ 600000X |
| Pistola de electrones | Cartucho de filamento de tungsteno centrado previamente en tungsteno calefactado de tungsteno |
| Voltaje de aceleración | 0 ~ 30KV |
| Sistema de lentes | Lente electromagnética de tres niveles (lente cónica) |
| Apertura objetiva | Abertura de molibdeno sistema de vacío exterior ajustable |
| Etapa del espécimen | Etapa de cinco ejes |
| Viajar | X (Auto) | 0 ~ 80 mm |
| Distancia | Y (Auto) | 0 ~ 60mm |
| Z (Manual) | 0 ~ 50 mm |
| R (Manual) | 360 ° |
| T (Manual) | -5 ° ~ 90 ° |
| Diámetro máximo del espécimen | 175 mm |
| Detector | Detector de electrones secundarios de alto vacío. |
| Semiconductor cuatro detectores de dispersión de espalda de segmentación |
| IR CCD |
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| Modificación | Actualización de etapa; EBL; STM; AFM; Etapa de calentamiento; Cryo Stage; Etapa de tracción; Micro-nano manipulador; Máquina de revestimiento SEM +; SEM + Laser |
| Accesorios | LaB6, Detector de rayos X (EDS), EBSD, CL, WDS, Máquina de revestimiento |
| Sistema de vacío | Bombas Turbo Moleculares; Bomba de Rotación |
