Bomba Maglev, CXF-250/2300, ISO-K / CF, refrigeración por agua, controlador externo Las bombas moleculares levitadas magnéticamente son las bombas cuyo eje está soportado en virtud de la fuerza magnética, que cumple con los requisitos de aplicación en los campos de la fabricación moderna de semiconductores, la fabricación de chips, el recubrimiento industrial y los instrumentos científicos.
Tecnologías:
- Tecnología de control para cojinetes magnéticos: un levitado magnéticamente de 5 ejes, basado en la teoría de control internacional avanzada, para garantizar tales ventajas significativas del eje de alta velocidad como una operación estable y confiable de levitación.
- Tecnología de control de accionamiento del motor: sistema de control de servo y motor de CC de alta velocidad y alta eficiencia, que tiene la máxima energía del motor y para compensar automáticamente la velocidad de rotación del eje, lo que permite un arranque estable, un funcionamiento confiable y una función de regulación automática de la energía dinámica. .
- Tecnología de rotor compuesto de fibra de carbono: fabricado con una combinación de aleación de aluminio de alta resistencia y fibra de carbono liviana. Se caracteriza por una gran reducción de peso y una gran mejora de la resistencia, de modo que se logran objetivos de alta velocidad de rotación, alto rendimiento y alta confiabilidad.
- Tecnología de resistencia a la corrosión: las superficies de las partes de las cámaras se tratan con un proceso especial, por lo que las superficies pueden resistir la corrosión causada por los gases corrosivos en los procesos de fabricación de semiconductores durante mucho tiempo. Además, los gases inertes, como el N2, se llenan completamente en el eje de las bombas para proteger las piezas de bajo vacío en las bombas, de modo que se realiza la función de eliminar de manera estable los gases corrosivos durante largos períodos.
- Sistema de control de la temperatura de calefacción: equipado con un calentador eléctrico y un controlador de temperatura, el agua de refrigeración, la calefacción de aire y hueso, la calefacción eléctrica y el calor transmitido por los gases de protección pueden monitorearse y controlarse durante la operación, la temperatura en las bombas se puede mantener en algún valor para a largo plazo, algunas sustancias gaseosas no se convierten en sustancias sólidas a temperatura normal y no se depositan en las bombas, y se pueden cumplir los requisitos para procesos especiales como el grabado.
Las ventajas:
Estas bombas tienen ventajas, tales como cero fricción durante el funcionamiento y bajo consumo de energía, fácil de adquirir alto vacío realmente limpio y ultra alto vacío sin lubricación para bombas, capaces de extraer gases corrosivos a largo plazo, alta seguridad y larga vida útil gracias a la protección de rodamientos con bolas cerámicas de precisión y función de generación de energía en caso de apagado repentino. Tiene ventajas como libre de fricción, contaminación, mantenimiento y baja vibración, y puede instalarse en cualquier orientación.
Aplicaciones:
Extracción de gases corrosivos existentes en etch, CVD, PVD e implantación de iones y gases coagulados fácilmente a temperatura normal en los campos de fabricación de semiconductores, fabricación de clips, galjanoplastia industrial e instrumentos científicos.
Especificación:
| Brida (In) | DN250 CF / ISO-K, ISO-F |
| Brida (Fuera) KF | DN40 |
| Velocidad de bombeo (L / s) | N 2 : 2300 |
| Ar: 2250 |
| El: 1900 |
| H2 2 : 850 |
| Índice de compresión | N 2 : 10 8 |
| Ar: 10 8 |
| Él: 10 4 |
| H2 2 : 10 3 |
| Presión final (Pa) | CF: 1 × 10 -6 |
| ISO-K / F: 6 × 10 -6 |
| Max. Presión continua de vacío frontal (Pa) | 60 |
| Max. Presión de pre-vacío | N 2 : 250 |
| Gas a lo largo (sccm) | N 2 : 3600 |
| Ar: 1400 |
| Él: 2800 |
| H2 2 : 2100 |
| Velocidad de rotación (rpm) | 27000 |
| Tiempo de ejecución (min) | ≤11 |
| Tipo de enfriamiento, Estándar | Agua |
| Consumo de agua de refrigeración (L / min) | 1 |
| Temperatura del agua de enfriamiento (℃) | 20 |
| Conexión de alimentación: Voltaje (VCA) | 220 |
| Modelo de controlador | CXF-2300 |
| Peso (kgs) | 59 (ISO-K / F) 62 (CF) |
