Bomba de Maglev, CXF-250/2301E, refrigeración por agua, a bordo
Las bombas moleculares magnético elevada y mantenida flotandos son las bombas cuyo el shafting se apoya en virtud de fuerza magnética.
Las bombas moleculares magnético elevada y mantenida flotandos de la serie son equipo de la generación del vacío desarrollado por KYKY para cumplir los requisitos de uso para los campos de la fabricación moderna del semiconductor, fabricación del microprocesador, galjanoplastia industrial e instrumentos científicos.
Tecnologías:
- Controle la tecnología para el transporte magnético: un eje 5 elevó y mantuvo flotando magnético, sobre la base de teoría de control internacional avanzada, para garantizar tales ventajas significativas del shafting de alta velocidad como operación elevada y mantenida flotando y confiable del establo.
- Tecnología del control de la impulsión del motor: Sistema de alta velocidad de gran eficacia del motor y del servocontrol de DC, teniendo energía máxima del motor y compensar la velocidad giratoria de shafting automáticamente, de tal modo realizando arranque estable, la operación confiable y la función de regulación automática de la energía dinámica.
- Tecnología compuesta del rotor de la fibra de carbono: Hecho componiendo la aleación de aluminio de alta resistencia y la fibra de carbono ligera. caracterizado de la gran reducción del peso y de la gran mejora de la fuerza, para alcanzar blancos de la alta velocidad giratoria, del alto rendimiento y de la alta confiabilidad.
- Tecnología de resistencia de la corrosión: Las superficies de partes en cámaras se tratan con proceso especial, de modo que las superficies puedan resistir la corrosión causada por los gases corrosivos en procesos de fabricación del semiconductor durante mucho tiempo. Además, los gases inertes tales como N2 son completamente adentro el shafting llenado de las bombas para proteger las piezas bajas del vacío en las bombas, para observar la función estable de agotar los gases corrosivos por largos periodos.
- Sistema del control de la temperatura de calefacción: equipado de un calentador eléctrico y de un regulador de temperatura, el agua de enfriamiento, la calefacción del aire-hueso, la calefacción eléctrica y el calor llevados por los gases protectores se pueden supervisar y controlar durante la operación, la temperatura en las bombas se puede mantener en un cierto valor para el largo plazo, algunas sustancias gaseosas no se convierten en sustancias sólidas en la temperatura normal y no se depositan en las bombas, y los requisitos para el proceso especial tal de aguafuerte pueden ser cumplidos.
Usos:
Las bombas moleculares magnético elevada y mantenida flotandos de la serie se aplican principalmente a los campos de la fabricación del semiconductor, fabricación del clip, galjanoplastia industrial y los instrumentos científicos, especialmente a la extracción de los gases corrosivos que existen en grabado de pistas, CVD, PVD e implantación y los gases de ion coagulados fácilmente en la temperatura normal.
Especificaciones:
| Reborde (adentro) |
DN250 CF/ISO-K, ISO-F |
| Reborde (hacia fuera) KF |
DN40 |
| Velocidad de bombeo (L/s) |
2:2300de N |
| AR: 2250 |
| Él: 1900 |
| 2:850de H |
| Ratio de compresión |
N 2:108 |
| AR: 108 |
| Él: 104 |
| H 2:103 |
| Presión de Ultimated (PA) |
CF: 1×10-6 |
| ISO-K/F: 6×10-6 |
| Presión del Delantera-vacío de Max. Continuous (PA) |
60 |
| Presión máxima del Delantera-vacío |
2:250de N |
| Gas en (sccm) |
2:3600de N |
| AR: 1400 |
| Él: 2800 |
| 2:2100de H |
| Velocidad de rotación (RPM) |
27000 |
| Tiempo del punto fijo (minuto) |
≤11 |
| Tipo de enfriamiento, estándar |
Agua |
| Consumo de agua de enfriamiento (l/min) |
1 |
| Temperatura del agua de enfriamiento (℃) |
20 |
| Conexión de poder: Voltaje (CA de V) |
220 |
