El brazo robótico del carburo de silicio es formado por proceso el presionar isostático y sinterización en la temperatura alta. Según los requisitos de los dibujos del estudio del usuario, el tamaño, el grueso y la forma se pueden acabar para cumplir los requisitos específicos del usuario.

Usos típicos

Utilizado para la transmisión de la oblea en diversos procesos de fabricación del semiconductor.

Características y ventajas

Tamaño exacto y estabilidad termal
La alta tiesura específica y la uniformidad termal excelente, uso a largo plazo no es fáciles doblar la deformación;
La oblea tiene una superficie lisa y una buena resistencia de desgaste, permitiendo la dirección segura de la oblea sin la contaminación de la partícula.
Carburo de silicio de la resistencia del SP del ® de Coresic en 106-108 Ω, no magnéticos, acordar con el requisito normativo de la resistencia del ESD; Evita que la electricidad estática acumule en la superficie de la oblea.
Buena conductividad termal, coeficiente de extensión bajo.

Especificaciones

Según los dibujos del cliente, podemos procesar diversos formas y tamaños de brazos.

La tirada del vacío del carburo de silicio es formada por proceso el presionar isostático y sinterización en la temperatura alta. Según los requisitos de los dibujos del estudio del usuario, el tamaño, el grueso y la forma se pueden acabar para cumplir los requisitos específicos del usuario.

Usos típicos

En la fabricación del semiconductor, las obleas extremadamente finas se colocan en los lechones del vacío del carburo de silicio, conectados con un generador del vacío, y las obleas son fijadas por la succión del vacío.
Utilizado en la litografía, la aguafuerte, laser que procesa, prueba de la oblea y otros procesos.

Características y ventajas

Tamaño exacto y estabilidad termal
Buena conductividad termal, coeficiente de extensión bajo y uniformidad de la temperatura
Extremadamente arriba lleve la resistencia y el final de la superficie, tamaño fino del poro y distribución uniforme, se puede fijar por adsorción uniformemente a todas las áreas de la oblea
Resistencia a la corrosión excelente del ácido y del álcali
Resistencia de impacto del plasma

Especificaciones

Puede ser modificado para requisitos particulares según el proceso de los dibujos del cliente.

Etiquetas de productos:

Componentes del carburo de silicio de la alta precisión para los procesos del semiconductor y el equipo óptico de la maquinaria

Elementos sic de calefacción

Elementos de calefacción Mosi2

Piezas de cerámica industriales

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cerámica del carburo de silicio

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Cerámica del óxido de circonio

Cerámica del nitruro de silicio

Medios abrasivos

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Compuesto de cerámica de la matriz del CMC

Componentes del carburo de silicio de la alta precisión para los procesos del semiconductor y el equipo óptico de la maquinaria

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