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Calentadores de agua de fluido DI para el proceso de fabricación de semiconductores
Modelo |
PWH-24i |
PWH-48i |
PWH-72i |
PWH-96i |
PWH-144i |
Método de calentamiento |
Calentamiento por radiación con rayos infrarrojos cercanos |
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Potencia del calentador |
24kW |
48kW |
72kW |
96kW |
144kW |
Tasa de flujo estándar (e at55°C) |
6l/min |
12l/min |
18l/min |
24l/min |
36 l/min |
Caudal mínimo de calefacción |
2l/min |
5 l/min |
10l/min |
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Rango de ajuste de temperatura |
25 a 85°C |
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Precisión del control de temperatura |
±1°C ※1 |
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Rango de indicación del caudalímetro |
0 a 10l/min |
0 a 50 l/min (no es el rango garantizado de precisión del control de temperatura) |
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Presión de agua DI permitida |
0,4 MP (una presión de alivio: 0,35 MPa) |
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Calentador |
Lámpara halógena.Calentamiento indirecto sin contacto directo con el agua |
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Material de los recipientes de calefacción |
Cuarzo transparente de alta pureza |
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Materiales húmedos de la tubería |
Polímero de fluorocarbono |
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Funciones de seguridad |
Error de caudal, sobrecalentamiento, funcionamiento sin líquido, desconexión del sensor de fugas y desconexión de la lámpara Apagado, alarma, indicación de error o salida de señal en caso de detección de error |
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Función de comunicación externa |
RS-232C/RS-48(5 opciones)※2 |
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Función de entrada/salida externa |
Señal de 8 entradas/14 salidas (l varía según la especificación) |
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Dimensiones generales(s mm)※3 |
A340×P850×A1384 |
A340×P850×A1384 |
A340×P850×A1584 |
340×850×A1986 |
A1050×P700×A2004 |
Peso |
Aprox.140kg |
Aprox.150kg |
Aprox.160kg |
Aprox.210kg |
Aprox.410kg |
Requisitos de potencia (t 50/60 Hz) |
CA200/208V 69/67A |
CA200/208V 139/133A |
CA200/208V 208/200A |
CA200/208V 277/266A |
200/208 V CA 416/400 A |
Un sistema de suministro de agua caliente para agua ultrapura que es ideal para el punto de uso para el enjuague de obleas de silicio y sustratos de vidrio de pantallas de cristal líquido.
El calentador de agua DI calienta el agua purificada utilizada para enjuagar las obleas de silicio en la fabricación de sustratos de semiconductores y de vidrio en la fabricación de pantallas LCD.Las lámparas halógenas están alojadas en tubos transparentes de vidrio de cuarzo de alta pureza de doble pared para garantizar un calentamiento eficiente y libre de contaminantes del agua ultrapura.El diseño delgado y compacto minimiza el punto del pie para la instalación en el punto de uso.
●Características
1. Limpiar
Los recipientes de calefacción a través de los cuales fluye el agua y todas las tuberías de plomería están hechas respectivamente de vidrio de cuarzo de alta pureza y polímero de fluorocarbono.
2. Compacto
La unidad delgada y compacta requiere un espacio mínimo para la instalación en el punto de uso.
3.Excelente control de temperatura
Las lámparas halógenas de alta potencia elevan rápidamente la temperatura y la ajustan en respuesta a las variaciones en el caudal de agua.
4. Alta eficiencia
Eficiencia con más del 95%.
5. Seguridad
La seguridad operativa óptima se proporciona a través de pantallas y alarmas sonoras contra condiciones anormales como sobrecalentamiento, calentamiento sin carga, presión excesiva y fugas de agua.
●Aplicaciones
1. Calentamiento de agua ultrapura para enjuagar obleas de silicio y sustratos de vidrio de pantallas LCD.
2. Calentamiento de agua pura utilizada en lugar de CFC para limpieza.