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Estándar de limpieza de la cabina personalizada semiconductor antiestático 0.5um ISO libre de partículas de polvo con FFU Hepa
Opción personalizada
Parámetro
| Nivel de limpieza | Número máximo permitido de polvo por metro cúbico | Número máximo permitido de microorganismos | ||
| / | ≥ 0,5um | ≥ 5um | Microbios en el aire/metro cúbico | Número de microbios de asentamiento/vaso·30 min |
| 100 | 3500 | 0 | 5 | 1 |
| 10000 | 350000 | 2000 | 100 | 3 |
| 100000 | 3500000 | 20000 | 500 | 10 |
| 300000 | 10500000 | 60000 | / | 15 |
