horno de prueba de la alta consistencia del horno eléctrico del laboratorio del CVD de la atmósfera 1200C
Características del horno de Eelctric del laboratorio del tubo:
Alta tarifa de deposición de la película: La tecnología del resplandor del RF, aumentando grandemente el índice de deposición de la película, la tarifa de deposición puede alcanzar 10Å/S
Alta uniformidad del área: La tecnología de alimentación de múltiples puntos avanzada del RF, la distribución de la trayectoria del gas y la tecnología de calefacción especial, los etc., hacen el alcance el 8% del índice de la uniformidad de la película
Alta consistencia: usando el concepto de diseño avanzado de la industria del semiconductor, la desviación entre los substratos de una deposición es menos del 2%
Alta estabilidad de proceso: El equipo altamente estable asegura proceso continuo y estable
Parámetro técnico principal del horno eléctrico del CVD del laboratorio ESTUPENDO del tubo:
| Nombre y modelo de producto |
Horno eléctrico del laboratorio SP-1200T-84 |
| Tamaño de calefacción del tubo (OD×L) |
Dia80x400mm |
| Materiales de aislamiento de la cámara |
fibra ligera del óxido de aluminio de cerámica |
| Temperatura máxima |
hora laborable 1200°C ( < 3="" hours="">
|
| Temperatura de trabajo |
400-1100°C (ajustable, por tiempo largo) |
| Control de la temperatura |
30 segmentos inteligentes programables y control auto del PID |
| Velocidad de calentamiento |
1-15℃/min (ajustable) |
| Exactitud de la temperatura |
±1℃ |
| Termopar |
Tipo de K |
| Elemento de calefacción |
alambre de resistencia |
| Último vacío |
-0.1Mpa |
| Las especificaciones de la bomba de vacío modelan |
0.5A, tarifa de bombeo 0.5L/S, poder 120W |
| Cáscara del horno |
Cáscara doble con el enfriamiento de la fan |
| Modo de visualización de la temperatura |
Cuatro figura líquido Crystal Display |
| Poder de trabajo |
CA 1 fase, 110V-240V, 50Hz/60Hz |
| Función de repuesto |
módulo de comunicación del ordenador e interfaz de comunicaciones instalados RS485, realizar el teledirigido. |
Modelo estándar del horno de tubo del CVD de SP-1200T
| Modelo |
Zona de calefacción (OD×L milímetros) |
Poder del trabajo |
Especificaciones de la bomba de vacío |
| SP-1200T-53 |
Φ50x300 milímetro (2,0" X12”) |
CA
1-phase/3-phase
110V-400V
50Hz/60Hz.
|
TW-0.5A; 0.5L/S; 120W; 110V/220V |
| SP-1200T-54 |
Φ50x400 milímetro (2,0" x16”) |
TW-0.5A; 0.5L/S; 120W; 110V/220V |
| SP-1200T-55 |
Φ50x500 milímetro (2,0" x20”) |
TW-0.5A; 0.5L/S; 120W; 110V/220V |
| SP-1200T-63 |
Φ60x300 milímetro (2,5" X12”) |
TW-0.5A; 0.5L/S; 120W; 110V/220V |
| SP-1200T-64 |
Φ60x400 milímetro (2,5" x16”) |
TW-0.5A; 0.5L/S; 120W; 110V/220V |
| SP-1200T-65 |
Φ60x500 milímetro (2,0" x20”) |
TW-0.5A; 0.5L/S; 120W; 110V/220V |
| SP-1200T-83 |
Φ80x300 milímetro (3,2" X12”) |
TW-0.5A; 0.5L/S; 120W; 110V/220V |
| SP-1200T-84 |
Φ80x400 milímetro (3,2" x16”) |
TW-0.5A; 0.5L/S; 120W; 110V/220V |
| SP-1200T-104 |
Φ100x400 milímetro (4,0" x16”) |
TW-0.5A; 0.5L/S; 120W; 110V/220V |
| SP-1200T-154 |
Φ150x400 milímetro (6,0" x16”) |
TW-1A; 1L/S; 120W; 110V/220V |
Plazos de expedición:
♥ para algunos hornos normales y componentes del tamaño estándar, tenemos en existencia; Podemos enviar tan en 2-3 días;
El ♥ otros tamaños modificados para requisitos particulares plazo de expedición es a partir 15 días a 20 días según diversa petición de los productos.
Nuestra garantía:
Una garantía limitada del año con la ayuda del curso de la vida, excepto el elemento de calefacción y el tubo de cerámica dañados por el usuario.
Atención: Ninguna daños hecha por el uso de gases corrosivos y ácidos, y ningún daño del mal para actuar y para utilizar no están bajo cobertura de la garantía de One Year Limited.
