Sensor de alta temperatura de la presión de SOI

El sensor de alta temperatura de la presión es una clase de sensor de alta temperatura de MEMS basado en el material del semiconductor de SOI. Su temperatura de funcionamiento es -30~180.
Los sensores de la serie del HPT han sido ampliamente utilizados para medir la presión diesel del espray en los componentes de la prueba del autodominio de motores diesel en vehículos y buques. Los sensores del HPT todavía pueden actuar normalmente aunque la temperatura del ambiente excede 180℃.

Los sensores del HPT son producidos primero por el ion que implanta los cuatro piezoresistors en el silicio. Los cuatro resistores están conectados en un arreglo del puente de Wheatstone, por el que dos resistores aumenten con la presión positiva mientras que la otra disminución dos de la resistencia. Cuando la presión se aplica al dispositivo y dos puertos del puente del resistor se suministran fuente de energía, los otros dos puertos harán salir una señal eléctrica que sea directamente proporcional a la presión. La tecnología del equipartition de la tensión se introduce en el diseño de muere, haciendo el dispositivo más robusto contra alta sobrecarga. Además, los resistores se aíslan con el medio aislador que garantiza la alta regularidad del dispositivo del sensor.

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