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Los frascos de campanas de cuarzo ZMSH están fabricados con materiales de cuarzo de alta pureza, diseñados específicamente para satisfacer las exigentes demandas de la fabricación moderna de semiconductores y los entornos de proceso de vacío.Aprovechando la excepcional estabilidad térmica y la inercia química, este producto demuestra una excelente idoneidad en procesos críticos como la oxidación de obleas, el recocido de semiconductores y la deposición química de vapor (CVD).
Diseñados para una integración perfecta, los frascos de campana de cuarzo ZMSH son totalmente compatibles con varios sistemas y cámaras de vacío tipo campana, lo que garantiza un alto rendimiento y fiabilidad operativa.La estructura de cuarzo de alta pureza proporciona una durabilidad notable y un rendimiento estable a largo plazo, tanto si se utiliza en instalaciones de recipientes de campana de vidrio al vacío como en escenarios de procesos de alta temperatura.
Basándose en la experiencia de ZMSH en la fabricación de componentes de cuarzo semiconductores,Nuestros frascos de cuarzo no sólo soportan condiciones de alta temperatura, sino que también mantienen una extrema pureza del material durante los procesos críticos.Estos frascos son ampliamente aplicables tanto en laboratorios de investigación como en equipos industriales, contribuyendo a mejorar la consistencia del proceso y la eficiencia general de los sistemas de vacío.
A continuación se muestra una descripción general de los parámetros básicos de los frascos de campana de cuarzo en generadores de plasma de semiconductores, destacando las especificaciones clave:
| Categoría de parámetros | Parámetros específicos | Observaciones/explicaciones |
| - ¿ Qué?Propiedades materiales - ¿ Qué? | Pureza: ≥ 99,999% (grado 5N) Resistencia a la temperatura: a largo plazo ≥ 1000°C, a corto plazo hasta 1200°C Coeficiente de expansión térmica: ~ 5,5 × 10−7/°C |
La alta pureza es clave para reducir la contaminación; el bajo coeficiente de expansión asegura la estabilidad térmica |
| - ¿ Qué?Las dimensiones geométricas - ¿ Qué? | Diámetro: Hasta cientos de milímetros (compatible con diferentes herramientas) Estructura: forma de botella de campana (cúpula) o cilíndrica |
Las dimensiones deben coincidir con la cámara de reacción y el tamaño del sustrato. |
| - ¿ Qué?Rendimiento óptico- ¿ Qué? | Transmitancia: Alta transmitancia desde las longitudes de onda ultravioleta profunda hasta las infrarrojas | Facilitar la monitorización óptica y la detección de puntos finales del proceso |
| - ¿ Qué?Compatibilidad de los procesos- ¿ Qué? | Vacío resistente: Vacío alto (por ejemplo, 10−6 ~ 10−9 Torr) Resistencia a la corrosión del plasma: Resiste a los gases comunes del proceso como CF4, O2 |
Asegura un funcionamiento estable a largo plazo en ambientes de plasma adversos |
El papel del frasco de campana de cuarzo en un generador de plasma semiconductor se puede entender como "crear y proteger el espacio ideal para las reacciones de plasma".
1. Diseño y estructura
2- Estándar de alta pureza.
3Estabilidad térmica
4Inertitud química.
5Transparencia óptica
6Compatibilidad con el vacío.
Basándose en las propiedades anteriores, los frascos de campana de cuarzo se utilizan principalmente en los siguientes procesos clave de fabricación de semiconductores:
ZMSH se especializa en proporcionar soluciones de materiales de alto rendimiento para los sectores de semiconductores, optoelectrónica y fabricación de alta gama.Con capacidades maduras en la personalización de componentes clave para equipos de proceso de plasma, como los frascos de cuarzo con campana, ZMSH emplea materiales de cuarzo de alta pureza adaptados a los requisitos del cliente para el sellado.La empresa controla con precisión las dimensiones, las interfaces de las bridas y la transmitancia óptica para garantizar un rendimiento estable en el grabado, la CVD,y otros procesos.
Además, ZMSH suministra una gama de productos personalizados que incluyen ventanas y sustratos ópticos de zafiro, sustratos de dispositivos de energía de carburo de silicio (SiC), obleas de silicio, componentes personalizados de cuarzo,y obleas SOIEstas ofertas abarcan servicios de cadena completa desde la preparación de materiales hasta el procesamiento de precisión (por ejemplo, corte, molienda, pulido), satisfaciendo las exigentes exigencias de alta dureza, conductividad térmica,y aislamiento en industrias como la electrónica de consumo, aeroespacial y dispositivos médicos.
Al integrar la I + D de materiales con un sistema de fabricación flexible, ZMSH permite la creación de prototipos rápidos y la entrega por lotes de productos no estándar,apoyo a la innovación tecnológica y las actualizaciones de productos para los clientes.
1.P: ¿Cuál es la función principal de un frasco de campana de cuarzo en procesos de plasma de semiconductores?
R: El frasco de campana de cuarzo sirve como una cámara sellada de alta pureza, proporcionando un ambiente estable para las reacciones de plasma.Su alta transmitancia de luz y resistencia a la corrosión aseguran la uniformidad y los bajos niveles de contaminación en procesos como el grabado y la deposición.
2P: ¿Cómo determinar si un frasco de campana de cuarzo necesita reemplazo?
R: Un frasco de campana de cuarzo necesita ser reemplazado cuando la limpieza repetida o la corrosión por plasma hace que su grosor caiga por debajo de un umbral seguro (por ejemplo,el espesor en los puntos clave de medición se desvía del intervalo de referencia), o cuando los depósitos superficiales excesivos comienzan a afectar la estabilidad del plasma.
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