Descripción del producto:
Nuestros efectores finales de SiC están diseñados para la manipulación de obleas ultralimpia en entornos de fabricación de semiconductores. Fabricados con carburo de silicio de alta pureza, estas horquillas proporcionan una resistencia térmica excepcional, estabilidad química, y resistencia mecánica—lo que las hace ideales para su uso en cámaras de proceso agresivas como grabado, deposición y sistemas de transporte a alta temperatura.
El cuerpo denso de SiC de grano fino asegura baja generación de partículas, excelente estabilidad dimensional, y compatibilidad con obleas de 200 mm a 300 mm. Hay diseños personalizados disponibles para brazos robóticos y transportadores de obleas específicos.
Características principales:
- Material: Carburo de silicio de alta pureza (SiC)
- Excelente resistencia térmica (hasta 1600°C)
- Resistencia superior a la corrosión química y por plasma
- Alta resistencia mecánica y rigidez
- Baja generación de partículas para uso en sala limpia
- Disponible para la manipulación de obleas de 4", 6", 8" y 12"
- Formas y ranuras personalizadas para compatibilidad robótica
Especificaciones del producto:
| Parámetro |
Especificación |
| Material |
SiC de alta pureza (≥99%) |
| Tamaño |
Personalizable (para obleas de 4 a 12 pulgadas) |
| Acabado superficial |
Pulido o mate según requerimiento |
| Resistencia térmica |
Hasta 1600°C |
| Resistencia química |
Resistente a ácidos, bases y plasma |
| Resistencia mecánica |
Resistencia a la flexión > 400 MPa |
| Grado de sala limpia |
Adecuado para Clase 1–100 |
Palabras clave / Etiquetas:
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