Xi'an Kacise Optronics Co.,Ltd.
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Sensor de gas infrarrojo KGD - MQ - 536
Introducción del producto
El sensor de gases infrarrojos KGD-MQ-536 se basa en la tecnología de infrarrojos no dispersivos (NDIR).y CO2 generado en aplicaciones de semiconductoresEs compatible con dimensiones preestablecidas comunes, bridas y protocolos de comunicación dentro del equipo. Puede usarse para la detección de puntos finales en procesos de deposición y limpieza de semiconductores,así como la detección de terminales para la limpieza de la cámara, lo que ayuda a reducir el tiempo de limpieza, reducir los costos y aumentar la producción.
Características del producto
Parámetros técnicos
| Parámetro | Detalles |
| Principio de detección | El NDIR |
| Gases detectados | WF6, CF4, SF6, NF3, CO2 |
| Rango de medición | 1 - 264 ppm (0 - 200 mTorr) |
| Repetibilidad | ± 0,5% |
| Linealidad | ± 1% F.S. |
| Límites de detección | 1 ppm |