Las obleas de 200 mm se pueden utilizar para una variedad de aplicaciones.Estas obleas son un 50 % más delgadas que las obleas de silicio estándar, por lo que el diámetro de 200 mm se puede usar para más dispositivos de SiC.El tamaño de 200 mm es mucho más eficiente y permitirá construir más dispositivos del mismo tamaño.Un SiC de 200 mm de diámetro es un semiconductor muy caro, pero su alto rendimiento compensa esta desventaja.

Propiedad	Grado P-MOS	Grado P-SBD	Grado D
forma de cristal	4H
politipo	Ninguno permitido		Área≤5%
(MPD)^a	≤0.2 /cm²	≤0.5 /cm²	≤5 /cm²
Placas hexagonales	Ninguno permitido		Área≤5%
Policristal Hexagonal	Ninguno permitido
Inclusiones^a	Área≤0.05%	Área≤0.05%	N / A
Resistividad	0,015Ω•cm—0,025Ω•cm	0,015Ω•cm—0,025Ω•cm	0,014 Ω•cm—0,028 Ω•cm
(EPD)^a	≤4000/cm²	≤8000/cm3²	N / A
(TED)^a	≤3000/cm3²	≤6000/cm3²	N / A
(DBP)^a	≤1000/cm²	≤2000/cm²	N / A
(TSD)^a	≤600/cm²	≤1000/cm²	N / A
Error de apilamiento	≤0.5% Área	≤1% Área	N / A
Contaminación de superficies metálicas	(Al, Cr, Fe, Ni, Cu, Zn, Pb, Na, K, Ti, Ca, V, Mn) ≤1E11 cm^-2
Diámetro	150,0 mm +0 mm/-0,2 mm
Orientación de la superficie	Fuera del eje: 4 ° hacia <11-20> ± 0,5 °
Longitud plana primaria	47,5 mm ± 1,5 mm
Longitud plana secundaria	Sin Piso Secundario
Orientación plana primaria	Paralelo a<11-20>±1°
Orientación plana secundaria	N / A
Desorientación ortogonal	±5,0°
Acabado de la superficie	Cara C: Pulido óptico, Cara Si: CMP
borde de la oblea	biselado
Rugosidad de la superficie (10 μm × 10 μm)	Cara Si Ra≤0,20 nm ； Cara C Ra≤0,50 nm
Espesor^a	350,0 μm± 25,0 μm
LTV (10 mm × 10 mm)^a	≤2 μm		≤3 μm
(TTV)^a	≤6 μm		≤10 μm
(ARCO)^a	≤15 μm	≤25 μm	≤40 μm
(Deformación)^a	≤25 μm	≤40 μm	≤60 μm
Fichas/Sangrías	Ninguno permitido ≥0,5 mm de ancho y profundidad		Cant.2 ≤1,0 mm de ancho y profundidad
Arañazos^a (Si cara, CS8520)	≤5 y longitud acumulada≤0,5×diámetro de la oblea		≤5 y longitud acumulada≤1,5 × oblea Diámetro
TUA (2 mm * 2 mm)	≥98%	≥95%	N / A
Grietas	Ninguno permitido
Contaminación	Ninguno permitido
Propiedad	Grado P-MOS	Grado P-SBD	Grado D
Exclusión de borde	3 mm

Observación: se utiliza una exclusión de borde de 3 mm para los elementos marcados con^a.

Sobre nosotros

Nos especializamos en el procesamiento de una variedad de materiales en obleas, sustratos y piezas de vidrio óptico personalizadas. Componentes ampliamente utilizados en electrónica, óptica, optoelectrónica y muchos otros campos.También hemos estado trabajando en estrecha colaboración con muchas universidades, instituciones de investigación y empresas nacionales y extranjeras, proporcionando productos y servicios personalizados para sus proyectos de I+D.Nuestra visión es mantener una buena relación de cooperación con todos nuestros clientes gracias a nuestra buena reputación.

Preguntas más frecuentes

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Etiquetas de productos:

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