Principio de funcionamiento
Los electrones chocan continuamente con los átomos del argón en el proceso del movimiento, ionizando un gran número de iones del argón a
bombardee la blanco. Después de colisiones múltiples, la energía de electrones disminuye gradualmente. Los electrones se rompen lejos
de la restricción de la línea de fuerza magnética, guarde lejos de la blanco, y finalmente del depósito en el substrato.

Características

Modelo	MSC-ADC-X-X
Tipo de capa	Diversas películas dieléctricas tales como óxido de película metálica, de metal y AIN
Gama de temperaturas de capa	Temperatura normal a 500℃
Tamaño de capa de la cámara de vacío	700mm750mm700m m (adaptable)
Vacío del fondo	< 5="">-7mbar
Grueso de capa	≥ 10nm
Precisión de control del grueso	≤ el ±3%
Tamaño de capa máximo	≥ 100m m (adaptable)
Uniformidad del espesor del film	≤ el ±0.5%
Portador del substrato	Con el mecanismo planetario de la rotación
Material de blanco	pulgadas 4×4 (compatibles con 4 pulgadas y abajo)
Fuente de alimentación	Las fuentes de alimentación tales como DC, pulso, RF, SI y el prejuicio es opcional
Gas de proceso	AR, N₂, O₂
Nota: Producción modificada para requisitos particulares disponible.

Muestra de capa

Pasos de proceso
El → coloca el substrato para cubrir en la cámara de vacío;
El → vacuumize áspero;
El → da vuelta en la bomba molecular, vacuumize a velocidad máxima, después da vuelta en la revolución y la rotación;
→ que calienta la cámara de vacío hasta que la temperatura alcance la blanco;
El → ejecuta el control de la temperatura constante;
El → limpia elementos;
El → gira y de nuevo al origen;
Película de capa del → según requisitos de proceso;
El → bajo temperatura y para el montaje de la bomba después de cubrir;
El → para el trabajar cuando se acaba la operación automática.

Nuestras ventajas
Somos fabricante.
Proceso maduro.
Contestación en el plazo de 24 horas de trabajo.

Nuestra certificación del ISO

Partes de nuestras patentes

Partes de nuestros premios y calificaciones del R&D