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Deposición de la farfulla del magnetrón en campo de capa decorativo
Usos
| Usos | Propósito específico | Tipo material |
| Capa decorativa | Película coloreada, película metalizada | Al2O3, TiO2, ytoda clasedepelículasdelmetal |
Principio de funcionamiento
El magnetrón que farfulla es aumentar tarifa de la farfulla introduciendo un campo magnético en la superficie de la blanco y usar
el campo magnético para obligar a las partículas cargadas que aumenten la densidad del plasma.
Características
| Modelo | MSC-DC-X-X |
| Tipo de capa | Diversas películas dieléctricas tales como óxido de película metálica, de metal y AIN |
| Gama de temperaturas de capa | Temperatura normal a 500℃ |
| Tamaño de capa de la cámara de vacío | 700mm*750mm*700m m (adaptable) |
| Vacío del fondo | < 5="">-7mbar |
| Grueso de capa | ≥ 10nm |
| Precisión de control del grueso | ≤ el ±3% |
| Tamaño de capa máximo | ≥ 100m m (adaptable) |
| Uniformidad del espesor del film | ≤ el ±0.5% |
| Portador del substrato | Con el mecanismo planetario de la rotación |
| Material de blanco | pulgadas 4×4 (compatibles con 4 pulgadas y abajo) |
| Fuente de alimentación | Las fuentes de alimentación tales como DC, pulso, RF, SI y el prejuicio es opcional |
| Gas de proceso | AR, N2, O2 |
| Nota: Producción modificada para requisitos particulares disponible. | |
Muestra de capa
Pasos de proceso
→Place el substrato para cubrir en la cámara de vacío;
El → vacuumize áspero;
El → da vuelta en la bomba molecular, vacuumize a velocidad máxima, después da vuelta en la revolución y la rotación;
→ que calienta la cámara de vacío hasta que la temperatura alcance la blanco;
El → ejecuta el control de la temperatura constante;
El → limpia elementos;
El → gira y de nuevo al origen;
Película de capa del → según requisitos de proceso;
El → bajo temperatura y para el montaje de la bomba después de cubrir;
El → para el trabajar cuando se acaba la operación automática.
Nuestras ventajas
Somos fabricante.
Proceso maduro.
Contestación en el plazo de 24 horas de trabajo.
Nuestra certificación del ISO
Partes de nuestras patentes
Partes de nuestros premios y calificaciones del R&D