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Deposición por pulverización catódica de magnetrón en la industria de pantallas
Aplicaciones
| Aplicaciones | Propósito específico | tipo de material |
| Monitor | Película conductora transparente | ITO(In2O; -SnO2) |
| Película de cableado de electrodos | Mo, W, Cr, Ta, Ti, Al, AlTi, AITa | |
| película electroluminiscente | ZnS-Mn, ZnS-Tb, CaS-Eu, Y2O3, Ta2O5, BaTiO3 |
Principio de funcionamiento
Como método común de deposición física de vapor (PVD), la pulverización catódica con magnetrón tiene muchas ventajas, como baja
temperatura de deposición, velocidad de deposición rápida y buena uniformidad de las películas depositadas.La pulverización tradicional
La tecnología funciona de la siguiente manera: en un entorno de alto vacío, los iones incidentes (Ar+) bombardean el objetivo bajo el
acción del campo eléctrico para hacer que los átomos o moléculas neutrales en la superficie objetivo obtengan suficiente energía cinética para salir
la superficie objetivo y depositar sobre la superficie del sustrato para formar películas.Sin embargo, los electrones se desplazarán bajo la acción de
campos eléctricos y magnéticos, lo que resulta en una baja eficiencia de pulverización catódica.Las rutas cortas de bombardeo de electrones también conducen a
aumento de la temperatura del sustrato.Para aumentar la eficiencia de la pulverización catódica, se instala un potente imán debajo del
objetivo con polos N y S en su centro y circunferencia respectivamente.Los electrones están limitados alrededor del objetivo bajo
la acción de la fuerza de Lorentz, se mueve constantemente en un círculo, generando más Ar+ para bombardear el objetivo, y finalmente en gran medida
aumentar la eficiencia de la pulverización catódica.
Características
| Modelo | MSC-DX—X |
| tipo de recubrimiento | Varias películas dieléctricas como película metálica, óxido metálico y AIN |
| Rango de temperatura de recubrimiento | Temperatura normal a 500 ℃ |
| Tamaño de la cámara de vacío de recubrimiento | 700mm*750mm*700mm (Personalizable) |
| Vacío de fondo | <5×10-7mbar |
| Espesor de recubrimiento | ≥ 10nm |
| Precisión de control de espesor | ≤ ±3% |
| Tamaño máximo de recubrimiento | ≥ 100 mm (personalizable) |
| Uniformidad del espesor de la película | ≤ ±0,5 % |
| Portador de sustrato | Con mecanismo de rotación planetario |
| material objetivo | 4 × 4 pulgadas (compatible con 4 pulgadas y menos) |
| Fuente de alimentación | Las fuentes de alimentación como CC, pulso, RF, IF y polarización son opcionales |
| gas de proceso | AR, N2, oh2 |
| Nota: Producción personalizada disponible. | |
Muestra de recubrimiento
Los pasos del proceso
→ Coloque el sustrato para recubrir en la cámara de vacío;
→ Aspire aproximadamente;
→ Encienda la bomba molecular, aspire a máxima velocidad, luego encienda la revolución y la rotación;
→ Calentar la cámara de vacío hasta que la temperatura alcance el objetivo;
→ Implementar el control de temperatura constante;
→ Elementos limpios;
→ Girar y volver al origen;
→ Película de recubrimiento según los requisitos del proceso;
→ Baje la temperatura y detenga el conjunto de la bomba después del recubrimiento;
→ Deja de funcionar cuando finaliza el funcionamiento automático.
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