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Deposición de la farfulla del magnetrón en industria de la óptica
Usos
| Usos | Propósito específico | Tipo material |
| La óptica |
Películas ópticas tales como película de antireflejos, |
SiO2, TiO2, TA2O5, ZrO2, HfO2 |
| Vidrio bajo en emisiones |
Capas múltiples del metal (plata, cobre, lata, etc.) |
|
| Vidrio que conduce transparente | ZnO: Al, etc |
Principio de funcionamiento
Las características del magnetrón que farfullan son alta tarifa filmógena, temperatura baja del substrato, buena adherencia de la película
y capa realizable de la área extensa. Esta tecnología se puede dividir en la farfulla del magnetrón de DC y el magnetrón del RF
farfulla.
Características
| Modelo | MSC-O-X-X |
| Tipo de capa | Diversas películas dieléctricas tales como óxido de película metálica, de metal y AIN |
| Gama de temperaturas de capa | Temperatura normal a 500℃ |
| Tamaño de capa de la cámara de vacío | 700mm*750mm*700m m (adaptable) |
| Vacío del fondo | < 5="">-7mbar |
| Grueso de capa | ≥ 10nm |
| Precisión de control del grueso | ≤ el ±3% |
| Tamaño de capa máximo | ≥ 100m m (adaptable) |
| Uniformidad del espesor del film | ≤ el ±0.5% |
| Portador del substrato | Con el mecanismo planetario de la rotación |
| Material de blanco | pulgadas 4×4 (compatibles con 4 pulgadas y abajo) |
| Fuente de alimentación | Las fuentes de alimentación tales como DC, pulso, RF, SI y el prejuicio es opcional |
| Gas de proceso | AR, N2, O2 |
| Nota: Producción modificada para requisitos particulares disponible. | |
Muestra de capa
Pasos de proceso
El → coloca el substrato para cubrir en la cámara de vacío;
→ Vacuumize la cámara de vacío en la temperatura del cielo y tierra, y girar el substrato síncrono;
El → comienza a cubrir: el substrato se entra en contacto con con el precursor en orden y sin la reacción simultánea;
El → lo purga con el gas de gran pureza del nitrógeno después de cada reacción;
La parada del → que gira el substrato después de que el espesor del film sea hasta estándar y la operación de la purga y del enfriamiento es
terminado, después tome hacia fuera el substrato después del vacío que rompe condiciones se encuentran.
Nuestras ventajas
Somos fabricante.
Proceso maduro.
Contestación en el plazo de 24 horas de trabajo.
Nuestra certificación del ISO
Partes de nuestras patentes
Partes de nuestros premios y calificaciones del R&D