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Deposición por pulverización catódica de magnetrón en la industria del tratamiento médico
Aplicaciones
| Aplicaciones | Propósito específico | tipo de material |
| Tratamiento médico | Materiales biocompatibles | Alabama2O3, TiO2 |
Principio de funcionamiento
El principio básico de la pulverización catódica con magnetrón es que los electrones chocan con los átomos de argón en el proceso de volar a
lasustrato bajo la acción del campo eléctrico, los iones de argón producidos bombardean la superficie objetivo.Después de la energía
intercambio,los átomos en la superficie objetivo escapan de la red originaly se transfieren al sustrato
superficie para formar películas.
Características
| Modelo | MSC-MT-X—X |
| tipo de recubrimiento | Varias películas dieléctricas como película metálica, óxido metálico y AIN |
| Rango de temperatura de recubrimiento | Temperatura normal a 500 ℃ |
| vacío de recubrimientocámara size | 700 mm * 750 mm * 700 mm (personalizable) |
| Vacío de fondo | <5×10-7mbar |
| Espesor de recubrimiento | ≥ 10nm |
| Precisión de control de espesor | ≤ ±3% |
| Tamaño máximo de recubrimiento | ≥ 100 mm (personalizable) |
| Uniformidad del espesor de la película | ≤ ±0,5 % |
| Portador de sustrato | Con mecanismo de rotación planetario |
| material objetivo | 4×4 pulgadas (compatible con 4 pulgadas y menos) |
| Fuente de alimentación | Las fuentes de alimentación como CC, pulso, RF, IF y polarización son opcionales |
| gas de proceso | AR, N2, oh2 |
| Nota: Producción personalizada disponible. | |
Muestra de recubrimiento
Los pasos del proceso
→ Coloque el sustrato para recubrir en la cámara de vacío;
→ Aspire aproximadamente;
→ Encienda la bomba molecular, aspire a máxima velocidad, luego encienda la revolución y la rotación;
→ Calentar la cámara de vacío hasta que la temperatura alcance el objetivo;
→ Implementar el control de temperatura constante;
→ Elementos limpios;
→ Girar y volver al origen;
→ Película de recubrimiento según los requisitos del proceso;
→ Baje la temperatura y detenga el conjunto de la bomba después del recubrimiento;
→ Deja de funcionar cuando finaliza la operación automática;
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