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La microscopia electrónica de la exploración (sem) es conveniente para la observación de la topografía superficial de metales, de la cerámica, de semiconductores, de minerales, de la biología, de polímeros, de compuestos y de materiales unidimensionales, bidimensionales y tridimensionales de la nano-escala (imagen de electrón secundario, imagen de electrón retrorreflejada). Puede ser utilizada para analizar los componentes del punto, de la línea y de la superficie del microregion. Es ampliamente utilizada en petróleo, la geología, el campo mineral, la electrónica, el campo del semiconductor, la medicina, el campo de la biología, la industria química, el campo material de polímero, la investigación penal de la seguridad pública, la agricultura, la silvicultura y otros campos.
| Filamento SEM del tungsteno de A63.7062 Eco |
| Resolución |
4.5nm@30KV (SE); 6nm@30KV (EEB) |
| Ampliación |
Ampliación negativa: 15x~250000x; Ampliación de la pantalla: 30x~500000x |
| Arma de electrón |
Cartucho centrado cátodo-Pre calentado tungsteno del filamento del tungsteno |
| Voltaje de aceleración |
0~30KV |
| Sistema de lente |
Lente electromágnetica de tres niveles (lente afilada) |
| Abertura objetiva |
Sistema exterior ajustable del vacío de la abertura del molibdeno |
| Etapa del espécimen |
Etapa de cinco hachas |
| Gama del viaje |
X (auto) |
0~50m m |
| Y (auto) |
0~50m m |
| Z (manual) |
0~25m m |
| R (manual) |
360º |
| T (manual) |
-5º~90º |
| Diámetro máximo del espécimen |
150m m |
| Detector |
Detector electrónico secundario del alto vacío (con la protección del detector) |
| Modificación |
Mejora de la etapa; EBL; STM; AFM; Etapa de la calefacción; Etapa de Cryo; Etapa extensible; manipulante Micro-nano; Máquina de SEM+Coating; SEM+Laser |
| Accesorios |
CCD, laboratorio6, detector de la radiografía (EDS), EBSD, CL, WDS, máquina de capa |
| Sistema del vacío |
Bombas moleculares de Turbo; Bomba de la rotación |
| Corriente del haz electrónico |
10pAt~0.1μA |
| PC |
Estación de trabajo modificada para requisitos particulares de Dell |
Cartucho centrado cátodo-Pre calentado tungsteno del filamento del tungsteno
La lente electromágnetica en este cilindro
La válvula de aislamiento se asegura de que el vacío superior no es afectado cuando se abre el cuarto de la muestra
Abertura objetiva
La muestra a ser necesidad observada de poner EN el cuarto de la muestra
La etapa de cinco hachas, X/Y motorizó el control (pequeño)
| Materiales consumibles |
| |
Nombre |
Especificación |
Cantidad |
Unidad |
| 1 |
Filamento centrado del cartucho |
|
5 |
sistema |
| 2 |
Taza del espécimen |
(φ13) |
10 |
PC |
| 3 |
Taza del espécimen |
(φ32) |
10 |
PC |
| 4 |
Cinta conductora del carbono (lado doble) |
6m m |
1 |
PC |
| 5 |
Grasa del vacío |
|
1 |
Botella |
| 6 |
Trapo sin pelusa |
|
20 |
PC |
| 7 |
Respiradero-tubo |
|
5 |
metro |
| 8 |
Goma de pulido |
|
1 |
sistema |
| Herramientas |
| |
Nombre |
Cantidad |
Unidad |
| 1 |
Llave Allen |
1 |
sistema |
| 2 |
Limpie el palillo |
1 |
PC |
| 3 |
Llegado más allá |
1 |
PC |
| 4 |
Abertura que quita la herramienta |
1 |
PC |
| 5 |
Pinzas |
1 |
PC |
| 6 |
Destornillador |
2 |
PC |
Detector electrónico secundario del alto vacío
Interfaz accesorio opcional de la conexión
A63.7062 ventana síncrona, dos Chanel (SE+BSE) de la ayuda tres con la ventana del CCD; Resolución de imagen: Pixeles 4096*4096
