El brazo robótico de cerámica desempeña un papel en el manejo de equipos de semiconductores.Es equivalente a la mano del robot del equipo de semiconductores y es responsable de transportar chips de silicio de obleas a la ubicación especificadaDebido a que el chip de silicio de la oblea es extremadamente vulnerable a otras partículas, generalmente se lleva a cabo en un entorno de vacío.
En este entorno, el brazo robótico de la mayoría de los materiales es generalmente difícil de completar el trabajo.En este momentoHay dos tipos de brazos robóticos cerámicos generales, uno es el brazo robótico de alumina cerámica,y el otro es un brazo robótico cerámico de carburo de silicio.
La cerámica de alumina y la cerámica de carburo de silicio tienen propiedades físicas de calidad densa, alta dureza y alta resistencia a la abrasión, así como buena resistencia térmica.excelente resistencia mecánica, buen aislamiento, buena resistencia a la corrosión, etc. Es un excelente material para la fabricación de equipos de semiconductores brazos robóticos.
Pero en términos de rendimiento, el brazo robótico hecho de cerámica de silicio es mejor que el brazo robótico hecho de cerámica de alumina.
Los productos cerámicos de carburo de silicio sinterizados normalmente están hechos de micro relleno de carburo de silicio de alta pureza y ultrafina.El contenido de carburo de silicio es superior a 990,1% y la densidad del producto es ≥ 3,10 g/cm3.
