Truth Instruments Co., Ltd.
Impulsando la innovación científica con mediciones precisas, proporcionando equipos confiables para la industria manufacturera
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Utilizando efectos de Kerr magnetoópticos polares/longitudinales (MOKE), este instrumento detecta rápidamente y globalmente el magnetismo de las películas de obleas.La medición sin contacto evita el daño de la oblea y es adecuada para el ensayo de muestras después del patrón en la producción de chips de giroProporciona un campo magnético vertical de hasta 2,5 T y un campo magnético en el plano de hasta 1,4 T.con campos magnéticos fuertes que inducen la captura de capas libres y de referencia en pilas de películas de memoria aleatoria de acceso magnético (MRAM) anisotrópicas verticalmenteLa sensibilidad de detección de Kerr ultra alta permite la caracterización de cambios magnéticos sutiles en diferentes capas de película.La combinación de la sondación láser punto por punto con imágenes de escaneo permite la creación rápida de mapas globales de características magnéticas de las obleas, ayudando a la optimización del proceso y el control del rendimiento.
| Indicador de rendimiento del equipo | Descripción |
|---|---|
| Tamaño de la muestra | Compatible con 12 pulgadas y menos, admite pruebas de fragmentos |
| El campo magnético | La velocidad máxima de la unidad de ensayo será de ± 1 km/h. |
| Resolución del campo magnético | Regulación de retroalimentación de circuito cerrado PID, 0,01 mT |
| Uniformidad del campo magnético | Mejor que ± 1%@Φ1 mm |
| Resolución del ángulo de Kerr | 0.3 mdeg (RMS) |
| Prueba de la eficacia | 12 WPH@±1,3 T /9 puntos de medición/200 mm de oblea |
| Repetibilidad de la muestra | Mejores que 10 μm |
| Tiempo de actividad | El 90% |
| EFEM | No se puede optar |
| Funciones de ensayo | medición no destructiva del bucle de histéresis de las capas/dispositivos de película magnética, extracción automática de la información del bucle de histéresis (capa libre y capa fijada Hc, Hex, M (valor del ángulo de Kerr),y el mapeo rápido de la distribución de las características magnéticas de las obleas |
Resultados de medición del bucle de histeresis de las pilas de películas MRAM verticales
Resultados de medición del bucle de histéresis de las pilas de películas anisotrópicas MTJ en el plano
Diferentes modos de escaneo
Mapa de distribución característica del campo magnético de una oblea anisotrópica vertical de 12 pulgadas