Truth Instruments Co., Ltd.
Impulsando la innovación científica con mediciones precisas, proporcionando equipos confiables para la industria manufacturera
Add to Cart
Atomana
Utilizando estructuras de la sonda de microcantilver, este instrumento permite la caracterización de la morfología 3D de materiales sólidos conductores, semiconductores y aislantes, logrando la caracterización de morfología de muestras grandes a nivel de oblea. Combinado con una imagen óptica, la etapa de posicionamiento de muestra impulsada eléctricamente permite una precisión de posicionamiento de 1 μm dentro de un área de 200 x 200 mm. con operaciones totalmente automatizadas para la alineación del láser, el enfoque de la sonda y los ajustes de parámetros de escaneo.
| Parámetro | Especificación |
|---|---|
| Tamaño de muestra | Compatible con obleas de 8 pulgadas y abajo |
| Rango de escaneo | Máximo 100 μm * 100 μm * 910 μm |
| Ángulo de escaneo | 0 ~ 360 " |
| Resolución | Resolución de circuito cerrado del eje Z 0.15 nm; X/y Resolución de circuito cerrado 0.5 nm |
| Sonda de escaneo de dirección xy lmage resolución | No menos de 32x32 ~ 4000x4000 |
| Modos de operación | Modo de contacto, modo de tapping, modo de imagen de fase, modo de elevación, modo de escaneo multidireccional |
| Medición multifunción | EFM, KFM, PFM, MFM |
