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Parámetros detallados
Aperture<3 milímetro
Longitud de onda 1064nm
Funcionamiento dinámico
Ms del error de seguimiento 0,16
Tiempo de respuesta del paso
el 1% de los 0,40 ms completo
ms completo 10%of 1,2
Speeds5.0 típico m/s
Peso (sin objetivo) 3 kilogramos
lente de la f-theta f=254 (174*174) ±40
Speci común
(todos los ángulos están grados ópticos)
Funcionamiento dinámico
Μrad 2 de la repetibilidad (RMS) <
Deriva compensada < 30 µrad/K
Deriva del aumento < 80 ppm/K
Deriva a largo plazo durante 8 horas < 0,3 mrad
Funcionamiento óptico
Ángulo típico ±0.35 rad de la exploración
Error del aumento < 5 mrad
Cero compensado < 5 mrad
Ausencia de linealidad < 3,5 mrad/44°
Requisitos de alimentación
Para ±15 XY V DC, máximo 3 A cada uno
Para Z ±15 V 3A
Protocolo Digital XY2-100